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在现代科技的推动下,智能手机、平板电脑等显示设备越来越轻薄、便携。而实现这些特点的背后,离不开显示器减薄和抛光技术的支持。显示器的减薄是通过蚀刻等手段去除多余材料,使屏幕达到理想的厚度;而抛光则进一步...
CMP抛光垫是采用化学研磨抛光工艺技术的关键核心材料,为了有助于持续输送新鲜浆料到晶圆和抛光垫接触区域,并能够携带并排除研磨产生的碎屑,抛光垫表面往往设计有各种纹路。不过,由于抛光过程中材料施加的摩擦力...
近半个世纪以来,集成电路领域一直遵循着摩尔定律飞速发展,但随着芯片愈加小尺寸化,引发了短沟道效应、量子效应、热效应、信号干扰等一系列问题,也给芯片制程的更新换代带来一定的难度,芯片领域的发展因而受到一...
固结磨料是用高强度粘结剂把细颗粒磨料粘接起来,使其形成一个独立的堆积组合体。相较于游离磨料抛光技术,固结磨料抛光的磨粒利用率及CMP加工效率显著提高,不仅耗材成本有所减少,而且工件的亚表面损伤程度也有了...
在现代制造业中,表面处理技术的重要性日益凸显。无论是汽车、航空航天、电子产品还是医疗器械,高精度、高光洁度的表面处理都是保证产品质量和性能的关键。而在众多表面处理技术中,激光抛光技术以其高效、精准、可...
碳化硅作为一种新兴的半导体材料,具有导热率高、宽禁带、高击穿电场、高电子迁移率等特性,使得其成为目前研发比较集中的半导体材料之一。因为这些性能,碳化硅可以广泛的应用于衬底、外延、器件设计、晶圆制造等多...
CMP技术是现代半导体制造中不可或缺的一部分,随着半导体工业的发展,CMP技术也在不断进步,以满足更高精度和更复杂工艺的需求。CMP抛光一般需要磨粒均匀的悬浮分散在抛光液中,以确保在CMP作业时,磨粒可以均匀的分...
在现代半导体制造工艺中,化学机械抛光(CMP)是至关重要的一步,它决定了晶圆表面平坦度和抛光质量,对最终产品性能有直接影响。而CMP工艺的核心之一便是抛光垫。抛光垫的表面结构及材料特性直接影响抛光效果,进而...
3D打印技术的兴起,无疑为制造业带来了革命性的变革,其自由成型的能力让复杂几何结构的零件定制化制造成为可能,然而,3D打印的零件表面通常具有一定的粗糙度,要应用于航空航天、医疗设备和精密机械等领域,需要进...
碳化硅(SiC)作为第三代半导体材料,由于具备卓越的热导率、高硬度和宽禁带特性,被广泛应用于制造高效能的功率电子器件中,使其成为现代科技发展的关键材料之一。比如说碳化硅MOSFET(金属氧化物半导体场效应晶体管...
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