近日,矽比科(SIBELCO)宣布已与美国商务部签署意向书,依据“芯片与科学”法案(CHIPS and Science Act)获得最高5600万美元资金支持,用于推进美国半导体制造的下一代高纯石英(HPQ)加工技术研发与产品规模化制造。

10月22日,美国商务部宣布一揽子高达3.89亿美元的研发奖励计划,该计划涵盖了四家从事功率半导体及相关材料研发的公司,而这笔5600万美元对矽比科的支持是计划的组成部分。这些来自政府资金的支持并非毫无条件,美国商务部表示,这项政府支持的研发投资带有股权参与机制,旨在为美国纳税人提供回报,即商务部将获得每家公司的少数、非控股且无投票权的股权(干股)。

高纯石英材料在半导体制造中主要用于硅晶圆制造和加工用途,制造最具代表的是高纯石英坩埚,用于提拉单晶硅棒;加工常常用到石英管、石英舟和其他晶圆加工部件,这些熔融石英部件提供必要的化学稳定、热稳定和污染控制能力。本次资金投入方向明确,用于研发下一代浸出、热氯化技术(原料除杂),高纯石英制品优化,及其中试线建设(制品开发)。当前的浸出主要指通过酸洗去除杂质,高温氯化是通过专用煅烧炉和氯气,进一步把残留的金属杂质转化为挥发性氯化物去除。
结语
矽比科旗下尤尼明(Unimin)及其IOTA®品牌是全球领先的高纯石英砂标识,其基石不仅在于现有技术,也在于拥有的石英矿床天然杂质含量极低,使其非常适合生产高纯度石英。因此,尤尼明的高纯石英是两个能力合二为一才达成的结果,而无法简单地通过在其他地方建设提纯厂来复制。本次美国政府支持矽比科开发高纯石英技术和产品的理由就在于,通过提纯和产品工程技术进步,减少对现有尤尼明IOTA®的单一依赖。
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