近日，大连富乐德7nm及以下高制程精密洗净专线在大连普洛斯智造产业园正式竣工投产，标志国内先进制程半导体零部件精密洗净配套能力实现新突破。
据了解，该项目总投资约1.4亿元，项目实用面积11160平方米，打造面向7nm及以下高制程的精密洗净专线，建设高制程零部件新品及再生专属配套基地，承接国内7nm及以下等级产品精密洗净业务。项目聚焦半导体痕量金属污染清洗与精密检测业务，服务覆盖ALD、PVD、CVD等薄膜沉积核心设备，可对金属、陶瓷、石英等各类高制程核心零部件开展洗净与再生服务，主要服务SK海力士、北方华创等半导体头部企业，为7nm及以下先进制程芯片制造提供关键配套支撑。
安徽富乐德科技发展股份有限公司总经理表示，富乐德依托 Ferrotec 集团平台，在半导体精密洗净领域拥有二十余年技术积淀，聚焦洗净服务、关键零部件、半导体材料研发制造三大核心业务。伴随全球半导体产业向先进制程快速迭代，7nm 及以下高制程对零部件洁净度、痕量金属污染控制提出严苛标准。半导体设备零部件新品洗净与再生服务，是保障设备运行性能、提升芯片制造良率的关键配套，也是国产高端半导体设备产业链建设中至关重要的一环。
本次产线投产将有效补齐华北、东北区域高制程设备零部件再生配套短板，深度对接国内半导体设备厂商、晶圆代工企业先进制程升级需求，强化与核心客户长期战略合作，为国内半导体高端设备国产化提供坚实配套支撑。
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