人工智能、5G通信、新能源汽车等技术的飞速发展,使得电子器件的功率密度和集成度不断攀升,“散热”已成为制约电子器件性能发展的关键。相较于传统Al2O3、BeO和SiC材料,AlN(氮化铝)凭借其优异的导热性能、高机械强度、良好的热膨胀系数、化学稳定性、无毒性、低介电常数和高绝缘电阻率,成为电子封装与热管理领域的关键材料。
然而,AIN粉体在实际应用中存在易水解的问题。当暴露在潮湿空气中时,其表面会与水发生不可逆反应,生成氢氧化铝[Al(OH)₃]、AlOOH等产物,致使后续烧结的氮化铝陶瓷出现氮空位、孔隙率与氧含量升高,导热率大幅下降,甚至还会在使用过程中释放氨气,影响周边器件(如毒化铂金催化剂)。因此,找寻合适的抗水解方法是氮化铝发展的关键。

氮化铝粉体水解前后的SEM照片(图源:文献5)
氮化铝水解行为
氮化铝的水解行为大致可以划分为3个特征阶段:
(1)诱导期:氮化铝表面预存的氢氧化铝化合物(AHC)缓慢溶解,pH基本稳定(室温下持续17-180min,90℃时诱导期消失);
(2)快速反应期:AHC溶解后氮化铝暴露,快速水解生成非晶AlOOH,随后转化为晶态勃姆石(AlOOH),pH急剧升至9-10;
(3)产物稳定期:低温(22-50℃)下勃姆石进一步溶解,再重结晶为拜耳石(α-Al(OH)3),高温(80-90℃)下勃姆石保持稳定,无拜耳石生成。

氮化铝水解表面质子转移过程(图源:文献4)
注:(a)3个H2O分子的解离吸附产生的3NH*;(b)由羟基介导的质子接力形成的NH2*;(c)NH3*和一个瞬时形成的N表面空位;(d)O填充N空位后的NH3*,导致表面氧化;(e)三水机制中NH3的生成和解吸途径
水解过程的关键影响因素
1、环境因素:在水解过程中,环境介质是决定阶段时长与产物类型的关键因素。
(1)温度:Fukumoto等研究发现当温度小于77.85℃时,水解最终产物为Al(OH)3;温度大于77.85℃时,产物以AlOOH为主,且强酸(如HCl)或强碱(如NaOH)会加速水解,但中强酸(如H3PO4)可通过形成磷酸盐保护层抑制水解反应。
(2)pH:Kocjan发现初始pH不改变水解总速率,但pH=10时会消除诱导期(非晶AHC在碱性条件下无法稳定存在);pH=1-3的酸性环境中,H⁺可与氮化铝表面OH⁻结合,延缓水解。
(3)气氛:Hou等在1000-1150℃高温环境下研究发现,因H2O促进H+内扩散,Ar-20%H2O(体积分数)气氛中氮化铝氧化水解倾向最高,15h质量增加21.1%;而air-20%H2O(体积分数)中O2与H2O竞争,质量仅增加12.0%,这表明氧气对高温水解的抑制作用。
2、颗粒粒径:研究发现,纳米级氮化铝的水解速率较亚微米级快5-10倍,且水解从粉末表面台阶等缺陷处起始,证明粒径与表面形貌对水解动力学的显著影响。
3、工艺流程:目前,氮化铝粉体的工业化制备技术以碳热还原法和直接氮化法为主。Li等经研究发现碳热还原法制备的氮化铝因表面存在稳定的γ-Al2O3层,诱导期最长(大于24h),而直接氮化法氮化铝诱导期仅6h。
解决方案
目前,提高氮化铝粉体抗水解性能的方法主要有无机表面改性、有机表面改性和热处理法。
1、无机表面改性
无机表面改性主要通过采用一些无机酸等对氮化铝进行保护,其改善性能与氮化铝粉末的粒径相关,当粒径较小时,粉末的表面活性更大,从而对无机酸的吸附能力越强,此时抗水解的效果也更明显。当粒径较大时进行包覆的抗水解效果不如小尺寸的,所以优先选择小尺寸。
Zhang等人通过在动态浸出装置中加入硼酸水溶液和氮化铝进行搅拌离心,得到改性后的氮化铝粉末在高湿度(90%)下70℃的环境下30天无变化。这主要归功于在反应初始时硼酸首先靠近氮化铝,硼酸的质子破坏Al-N键,N被释放出形成NH3,导致初始溶液的pH升高。然后B(OH)4与Al反应生成-Al-O-B-OH-键同时B(OH)3通过Al-N-B(OH)3连接在氮化铝表面进行化学吸附,最后形成以B-O-H键为主的网络结构,因此有较好的抗水解性能。

在硼酸水溶液中氮化铝颗粒上形成保护涂层的预测构型图(图源:文献1)
2、有机物表面改性
有机物表面改性主要是利用一些有机长链分子进行表面改性或者原位聚合来制备改性氮化铝。
Li等人研究加入水解聚马来酸酐(HPMA)对氮化铝进行表面改性,利用HPMA表面的-COOH与热处理后氮化铝表面的氧化层脱水缩合反应形成长链包覆在氮化铝粉末表面,厚度约为7nm。当HPMA的含量为5wt%时,改性氮化铝粉末可以在水中维持90h以上,在球磨条件下稳定维持24h,具有优异的抗水解性能。

水解聚马来酸酐对氮化铝粉末表面改性流程图(图源:文献1)
3、热处理法
热处理法主要是通过在氮化铝颗粒表面高温热处理使其表面生成一层Al2O3保护层,Al2O3相对于氮化铝更致密,有更好的抗水解性。此方法相对成本更低,过程更简单。
Li等在650-1050℃的温度范围间通过氧化处理在氮化铝颗粒表面上形成了一层致密的Al2O3薄膜,研究发现氮化铝在800℃以上的温度下更有助于Al2O3薄膜的形成,经过高温处理得到的氮化铝粉末在60℃条件下维持180min。
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