随着新能源汽车、5G通信以及人工智能产业快速发展,以碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)为代表的第三代半导体正成为全球科技竞争的重要赛道。作为半导体器件制造的基础材料,晶圆衬底的加工质量直接影响器件性能、可靠性以及最终良率。然而,第三代半导体材料普遍具有高硬度、高脆性和优异化学稳定性等特点,加工过程中容易出现效率低、亚表面损伤难以控制、加工成本高等问题,对加工工具和工艺提出了更高要求。
事实上,无论是半导体晶圆,还是氧化铝、氧化锆、氮化硅、碳化硅等先进陶瓷材料,其加工过程都离不开超硬材料工具的支撑。近年来,随着半导体产业对加工精度、表面质量和一致性要求不断提升,高精密金刚石工具的开发正成为行业关注的重要课题。

精密加工金刚石工具(来源:奔朗新材)
作为国内超硬材料工具领域的重要企业,奔朗新材长期专注于超硬材料制品的研发、生产和销售,在硬脆陶瓷、石材、精密机械零部件等加工领域积累了丰富的产品开发与应用经验,也为公司积极布局半导体精密加工市场奠定了坚实基础。
在即将于6月25-26日举办的“CAC2026全国先进陶瓷论坛暨半导体用陶瓷专题论坛”上,奔朗新材研发技术中心周浩钧博士将带来《从传统建材加工到先进陶瓷加工:金刚石工具的差异化要求与技术进展》主题报告,重点分享:
(1)传统建材加工用金刚石工具技术开发路径;
(2)半导体陶瓷加工的差异化要求与工具技术最新进展;
(3)奔朗新材半导体精密加工工具简介。
对于先进陶瓷加工企业、第三代半导体材料企业以及半导体装备制造企业而言,本报告将从加工工具的视角,探讨传统建材与半导体陶瓷加工之间的技术联系与差异,为提升硬脆材料加工效率、表面质量和良率提供新的思路与参考。
感兴趣的朋友,欢迎查看会议详情及报名!
关于报告人

周浩钧,工学博士,现任广东奔朗新材料股份有限公司研发总监,主要从事金刚石工具开发、金刚石热管理材料开发、金属陶瓷强韧化研究等工作。作为主要参与人承担国家级科研项目1项,省级科研项目2项,主持市级科技攻关项目2项,获授权国家发明专利10余项,涵盖金刚石工具设计及制备、金刚石功能化应用等,已发表SCI学术论文10余篇。
西安先进陶瓷论坛