在科技日新月异的时代，半导体和化合物半导体行业的发展速度令人瞩目。这些行业的进步不仅推动了科技的发展，也带动了相关材料和技术的需求增长。碳化钽材料因其产品的特性，也在化合物半导体的发展浪潮中焕发出新的应用春天。

在半导体工业化生产中，石墨材料凭借良好的耐高温、导电性能被广泛应用于各类核心装备部件。但传统石墨材料耐化学腐蚀性差、易氧化、易产生颗粒污染，在高温、高压、强腐蚀的半导体极端工艺环境中，极易出现损耗、失效问题，不仅影响设备使用寿命，还会造成晶圆污染、工艺稳定性下降等生产风险，难以适配导体高精度、高洁净度、高稳定性的生产要求。而以石墨为基材，经由CVD高温反应在石墨基材的表面生成一层致密的碳化钽多晶结构，则能完美解决这个行业痛点。

致密多晶碳化钽涂层结构具备极高的热稳定性和化学稳定性能，能有效的提高对石墨基材的保护，应用在高温高压和化学腐蚀环境中依然能保持良好的性能，且无杂质析出现象，不会对半导体材料产生污染和污损，适用于高温工艺和极端环境条件下的应用，高度契合了化合物半导体的生产工艺需求，具备良好的应用前景。

迈图公司作为最早生产和应用碳化钽涂层材料的公司之一，在半导体领域积累了大量成熟的落地应用案例与丰富的技术经验，在行业内享有极高的知名度与良好的市场口碑。为分享该前沿技术成果、推动行业技术升级，6月25-26日，迈图公司大中华及东南亚区域陶瓷业务负责人王存国先生将在于陕西西安举办CAC2026全国先进陶瓷论坛暨半导体用陶瓷专题论坛上分享报告《碳化钽陶瓷的制备及其在半导体装备中的应用》，届时他将以碳化硅为代表的第三代化合物半导体为例，分享碳化钽涂层材料在碳化硅晶元和碳化硅外延的应用特点和对行业带来的帮助，共同探讨提升碳化钽陶瓷的应用空间。

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报告人介绍

王存国，迈图技术大中华区陶瓷业务负责人。

迈图技术致力于提供先进材料，可追溯超过百年的发展历程，主要面向半导体，航空航天，电子，水处理等领域提供高质量材料解决方案。

CAC西安先进陶瓷论坛会务组