6月30日，据露笑科技发布调研报告，最近合肥露笑半导体研发的碳化硅衬底片项目取得一定进展，已送样检测通过，目前正在积极向下游客户进行送样；合肥露笑半导体一期生产用设备的安装调试工作已经完成，并准备近期投产。

去年8月，露笑科技宣布在合肥市长丰县投资建设碳化硅半导体产业园。该项目总投资100亿元，主要建设第三代功率半导体（碳化硅）的设备制造、长晶生产、衬底加工、外延制作等产业链的研发和生产基地，不仅投资大，并且建设内容几乎打通了碳化硅半导体器件的全部环节。

露笑科技表示，公司已全面掌握6英寸导电型碳化硅晶体生长工艺参数之间的各种耦合关系，确定了各工艺参数的优值，中试线生长成品率达到40%，具备了可重复、可批量生长碳化硅晶体的设备以及技术条件。其中露笑科技提供100%国产化的晶体生长设备，目前已根据工艺的改进，对长晶炉进行了三代优化，完成了设备定型。

露笑科技强调，车规级导电型碳化硅衬底片开发目前是世界级难题，是真正卡脖子的技术，需要全行业的人沉下心来、深耕细作。行业面临如何提高产率、稳定质量、进一步降低成本等一系列问题，还有很长的路要走。公司正在为此努力，力争年底前形成规模化量产能力。

如图所示：导电型碳化硅晶片可作为衬底材料，经过外延生长、器件制造、封装测试，制成碳化硅二极管、碳化硅 MOSFET 等功率器件，适用于高温、高压等工作环境，应用于新能源汽车、光伏发电、轨道交通、智能电网、航空航天等领域，市场规模较大

此次调研报告披露，合肥碳化硅项目一期100台设备已经完成出厂调试，预计7月底在合肥工厂完成安装调试；衬底片已通过多家第三方单位的测试，已达到了P级标准。随着衬底加工设备、清洗设备、测试设备等的逐步到位，以及加工工艺的进一步优化，合肥工厂9月份可实现6英寸导电型碳化硅衬底片的小批量试生产。

最后，产品产能规划方面，露笑科技表示产能根据订单量确定，碳化硅长晶炉自主生产制造，可以在三个月内完成产能扩产。公司发展初期以电力电子为主要客户，之后车规级产品1、2年后可能会逐步上量。

粉体圈 整理