湖南三安半导体产业园一期建成投产

发布时间 | 2021-06-28 15:21 分类 | 行业要闻 点击量 | 863
碳化硅
导读:6月23日,位于长沙高新区被誉为国内首条碳化硅全产业链生产线的湖南三安半导体产业园项目一期建成投产,一旦正式量产,月产能可达30000片6英寸碳化硅晶圆。

6月23日,位于长沙高新区被誉为国内首条碳化硅全产业链生产线的湖南三安半导体产业园项目一期建成投产,一旦正式量产,月产能可达30000片6英寸碳化硅晶圆。

该项目总投资160亿元,于去年7月正式开工,分二期进行,主要用于建设具自主知识产权的衬底(碳化硅)、外延、芯片及电子封装产业生产基地。业内媒体评价,这标志着美国实施封锁的情况下,中国发展国内半导体行业和确保供应方面又向前一步。已竣工的项目一期主要包含碳化硅长晶、衬底、外延、芯片、器件封装等厂房及相关配套设施建设。

项目洁净车间(来源:央广网)

其中,为了满足半导体制造工艺需求,生产车间必须达到洁净车间的标准,洁净车间是指将一定空间范围之内空气中的有害空气、微粒子、细菌等污染物排除,并将室内压力、洁净度、温度、气流速度与气流分布、照明及噪音振动、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的空间。洁净标准一般按照一级、十级、百级、千级、万级、十万级、三十万级……划分,数值越小,代表净化级别越高。普通公共场所杀菌消毒可参照三十万级标准,医院ICU病房杀菌消毒参照十万级标准,本项目半导体电子生产厂房M2B碳化硅芯片厂房为百级标准,每立方英尺的空气中≥0.5微米粒径的粒子数量不超过100个,洁净等级标准上远远领先于行业。

该项目预计48个月(4年)内完成二期项目建设并实现投产,72个月(6年)内实现达产。

粉体圈 整理


作者:粉体圈

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