华海清科于近日发布公告，为有效抢抓晶圆厂加速扩产的窗口期，扩大先发优势和规模效应，进一步扩大晶圆再生服务的市场份额，公司拟在江苏省昆山市建设晶圆再生扩产项目，规划扩建总产能为40万片/月，其中首期建设产能为20万片/月，首期投资预计不超过5亿元。
图源：华海清科
据了解，晶圆再生是一种将晶圆控挡片回收加工使其达到再次使用的标准，从而为晶圆生产企业节约成本的服务，其工艺流程包括对挡控片进行去膜、粗抛、精抛、清洗、检测等步骤。其中精抛是最关键的一道流程，主要通过CMP工艺完成。作为目前国内最大的CMP设备生产商，华海清科凭借自有化学机械抛光（CMP）装备和清洗装备，针对下游客户生产线控片、挡片的晶圆再生需求，积极拓展晶圆再生业务，目前已成为具备Fab装备及工艺技术服务的晶圆再生专业代工厂，现有晶圆再生产能已达20万片/月左右，本次扩建全部完成后，公司产能将实现翻倍。
华海清科表示，随着国内12寸晶圆厂加速扩产，新建产线的工艺要求越来越高，相应对挡控片、测试片的需求激增，此次项目的建设正是为了进一步提高公司的晶圆再生加工能力，以便更好地响应客户的需求。
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