涉及石英、碳化硅,CVD涂层等,汉京半导体产业基地项目封顶

发布时间 | 2024-11-11 17:16 分类 | 企业动态 点击量 | 437
石英 碳化硅
导读:月30日,汉京半导体产业基地项目举行封顶仪式,这标志着项目主体结构建设完成,进入了后续的内部装修和设备安装阶段。项目建成将成为半导体产业链中重要的一环,有助于企业进一步稳固国内半导体...

10月30日,汉京半导体产业基地项目举行封顶仪式,这标志着项目主体结构建设完成,进入了后续的内部装修和设备安装阶段。项目建成将成为半导体产业链中重要的一环,有助于企业进一步稳固国内半导体石英制成品市场龙头地位,并在半导体陶瓷材料领域填补国内行业空白。

封顶仪式现场(图源:中电二公司,项目承建单位)

2022年6月,辽宁汉京半导体材料有限公司成立并开始进入半导体材料领域,尤其是专注于碳化硅材料的研究与应用。2024年3月,作为辽宁省2024年一季度重点项目之一,汉京半导体产业基地项目在沈阳正式开工建设,该项目总投资10亿元人民币,规划建设石英工厂、陶瓷工厂和高精尖研发中心等,主要生产集成电路产业专用材料——半导体行业的高纯度石英制品,如石英管、石英舟等;碳化硅立式管、碳化硅立式舟、碳化硅保温桶等;以及在各种基材上碳化硅CVD涂层等高端材料。其中,半导体石英材料具有高纯度、耐高温、耐腐蚀的特点;碳化硅陶瓷具有高硬度、高导热性、低热膨胀系数等优点,能够在极端条件下保持稳定性能。上述产品可用于半导体产业的高温反应器、扩散炉、化学气相沉积(CVD)炉等重要设备。 

汉京半导体产业基地效果图(图源:中电二公司)

项目建成投产后预计可实现年产值12亿元,吸引半导体上下游产业加速聚集发展,加快形成新质生产力,推动沈阳市成为半导体设备重要材料供应基地。


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作者:粉体圈

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