Resonac 成功开发300mm(12英寸)碳化硅单晶衬底

发布时间 | 2026-09-16 16:33 分类 | 企业动态 点击量 | 22
碳化硅
导读:Resonac(力森诺科)宣布已成功制造出300mm(12英寸)碳化硅单晶并加工成衬底。

9月15日,Resonac(力森诺科)宣布已成功制造出300mm(12英寸)碳化硅单晶并加工成衬底,标志着碳化硅衬底以及外延晶圆向大直径、高品质方向演进的关键技术里程碑。


Resonac开发的300毫米(12 英寸)碳化硅晶圆(右)

碳化硅作为功率半导体的核心基材,相比传统硅基芯片拥有更低功率损耗、散热性能更佳的优势,下游市场主要面向新能源汽车、光伏储能、数据中心电源等赛道,市场需求持续上行。现阶段Resonac主要供应150mm(6英寸)碳化硅外延晶圆为主,同时200mm(8英寸)外延晶圆已实现对外出货。

300mm(12英寸)碳化硅衬底已成为全球主要衬底厂商重点攻坚方向。目前该尺寸尚未进入大规模产业化阶段,距离稳定量产、客户送样验证还有较长周期。大尺寸衬底一旦实现量产,单颗晶圆上可制备更多功率芯片,有助于降低芯片制造成本,对下游车规级功率器件降本具有重要意义。

随着新能源汽车对碳化硅器件需求量持续攀升,各家厂商加速冲刺12英寸研发,意味着碳化硅大尺寸赛道的技术竞争进一步升级,后续晶体良率、加工稳定性将成为各家角逐的核心焦点。

 

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作者:粉体圈

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