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氮化铝粉体制备及氮化铝陶瓷烧结方法简介
2015年08月28日 发布 分类:粉体加工技术 点击量:8463
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氮化铝呈蓝白色,通常为灰色或灰白色。氮化铝的理论密度为3.26g/ cm3 ,常压下在2450°C 升华分解。氮化铝材料的优点是室温强度高,且强度随温度升高而下降较缓。此外,氮化铝陶瓷具有高热导率,是一种良好的耐热冲击材料。利用它的较高的体积电阻率、绝缘强度、导热率、较低的热膨胀系数和介电常数,可用作大功率半导体器件的绝缘基片、大规模和超大规模集成电路的散热基片和封装基片。利用它的高声波传导速度特性,可用作高频信息处理机中的表面波器件。利用它的高耐火性及高温化学稳定性,可用来制作在1300~2000 ℃下工作的制取熔融铝、锡、镓、玻璃、硼酐等用的坩埚。氮化铝已成为新材料领域的重要分支。

 

一、氮化铝粉体制备

氮化铝陶瓷的制备工艺和性能均受到粉体特性的直接影响,要获得高性能的氮化铝陶瓷,必须有纯度高、烧结活性好的粉体作原料。氮化铝粉体中的氧杂质会严重降低热导率,而粉体粒度粒子形态则对成形和烧结有重要的影响。因此,粉体合成是氮化铝陶瓷生产的一个重要环节。氮化铝粉体合成的方法很多,其中用于大规模生产的主要有三种,其他一些方法尚未获得普遍应用。

 

1、铝粉直接氮化法

金属直接氮化法的实质在于金属铝在高温下与氮(或氨) 直接反应,生成氮化铝。铝与氮的反应是放热反应。当反应开始后停止外部加热,则反应可在加大氮气流量的条件下继续进行到底。金属铝颗粒表面上逐渐生成氮化物膜,会使氮难以进一步渗透,氮化速度减慢。所以需要进行2次氮化法,即一次氮化后的产物经球磨后,再进行二次氮化。这样就可以制备出接近化学计量成分的均匀的氮化铝。这是一种思路简单而直接易行的方法,能合成大量纯度较高的氮化铝粉,没有什么副反应,已用于大规模生产。 

 

2、Al2O3 碳热还原法

该法是采用超细氧化铝粉和高纯度碳黑作为起始原料,经过球磨混合,最后置于石墨坩埚中,在碳管炉中N2 气氛下合成。 合成温度范围为:1600~1750 ℃,保温时间4~10h ,然后在N2 气氛中冷却,最终得到黑色粉末状氮化物,然后在空气中,600~700 ℃下保温10~16h ,进行脱碳处理,即得到灰白色、流动性良好的氮化铝粉末。这种方法目前在工业生产中应用得最为普遍。 

用碳热还原法合成的氮化铝粉体纯度较高,成形和烧结性能都比较好,但合成温度高,反应时间长,粉体粒度也比较大。此方法制备的氮化铝粉末纯度高,性能稳定,具有良好的成形性与烧结性能。

 

3、气溶胶(气相反应) 法

与其他方法相比,气溶胶法最适合于连续生产,而且这种方法可以方便地控制氮化铝颗粒的成核和生长速率,从而获得尺寸均匀的超细粉。用AlCl3或铝的金属有机化合物为原料,与NH3 经过下述两个气相反应过程合成氮化铝。

        AlCl3 + NH3 →氮化铝 + 3HCl                   

        Al (C2H5) + NH3 →氮化铝 + 3C2H6

    

4、电弧法

用两个高纯铝电极在氮气中产生直流电弧,电极之间的电弧高温使Al 氮化,铝蒸汽与氮气反应生成氮化铝。这种方法可获得高纯度、超细的氮化铝。

 

5、等离子化学合成氮化铝粉末

采用等离子化学合成法来制备氮化铝粉末,能有效地缩短反应时间,合成超细的粉末产品。在等离子体合成时,一般采用无电极的高频或超高频放电的等离子体发生器。合成过程在含有氨的等离子体中加入铝粉的情况下进行。等离子流径向温度梯度比较大,而且沿中心线的温度比较高,因此,铝粉颗粒的加热取决于颗粒流落入等离子流中心高温区的速度。等离子化学合成的氮化铝由于粒度细、比表面积大而具有很高的活性和良好的工艺性能。这种粉末用烧结法制取制品时,烧结温度可降低300°C ,并可制得几乎完全致密的氮化铝陶瓷。

 

二、氮化铝陶瓷烧结方法

氮化铝是一种共价键化合物,有限的原子的扩散能力阻止了纯氮化铝的致密度,所以烧结非常困难。必须有较高的压力或烧结助剂来促使其致密。通过以下三种途径可获得致密的高性能氮化铝陶瓷:

1、使用超细粉。 

2、热压或等静压。 

3、引入助结合剂。

 

其中,第一种途径受粉体性能影响比较大,通常的商业氮化铝粉无法满足要求,而且超细粉也会给流延成形带来困难。第二种途径适用于高性能的块体氮化铝陶瓷材料的制备,但对氮化铝流延基片与金属浆料的多层共烧有很大的局限性,不能用于电子封对技术。第三种途径工艺上易于实现,适用于流延成形和无压烧结,有可能获得低成本高性能的氮化铝陶瓷,为众多企业所采用

 

氮化铝的常用助烧剂是某些稀土金属氧化物和碱土金属氧化物,如Y2O3 、CaO 等,烧结温度通常在2073~2123K之间,所获得氮化铝陶瓷热导率为170~260W/ (m·K) 。助烧剂主要起两方面的作用:一方面形成低熔物相,实现液相烧结,促进坯体致密化。另一方面,高热导率是氮化铝陶瓷的重要性能,而实际氮化铝陶瓷中由于存在各种缺陷,热导率远低于其理论值319W/ (m·K) 。氧杂质是形成缺陷的主要原因,助烧剂的另一个作用就是与氮化铝中的氧杂质反应,使晶格完整化,进而提高热导率。 

 

小结:氮化铝具有多方面的优越性能,应用前景十分广阔。氮化铝陶瓷是集成电路理想的基片材料。由于抗热震性好,氮化铝陶瓷可用于制造性能优越的加热器。作为耐火材料,它具有耐高温腐蚀的优点。透明氮化铝陶瓷还可用于电子光学器件。此外,研究人员试图开发氮化铝薄膜在高技术领域的新用途,已经取得了一些进展。


(粉体圈 作者:敬之)

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