近日,日本JX金属株式会社宣布,为了应对面向下一代半导体CVD(化学气相沉积)、ALD(原子层沉积)工艺对应材料需求极速攀升,将继续加强推进重要的钼化合物产能扩大以保障供应。
JX金属钼化合物特写
AI产业快速发展,数据中心和搭载AI的物联网设备市场扩大,高性能半导体是支撑相关设备的关键硬件,其微细化和多层化是目前实现高集成度的主要途径,而CVD、ALD薄膜需求便随之上升。2024年2月,JX金属已看到产业趋势并就此设立部门,致力于实现相关材料的商业化,JX金属于是新建了高纯度CVD和ALD材料的量产线,并为客户提供样品,获得好评(通过验证)后,也做出了增强产能的决定。当年11月,JX金属宣布已在德国生产基地启动这些材料前驱体的生产。同时,也宣布将在日本本土进行扩产。
关于钼化合物,相比传统钨前驱体材料的优势主要体现在原子级镀膜中实现低电阻、零污染、高填充三位一体性能,支撑AI芯片与3D存储的微缩化演进。JX金属表示,目前本土的茅崎工厂新建了生产线,已满负荷运转,同时茨城工厂也在加装设备,为未来需求做准备,结合之前德国生产基地产能,已初步达成量产高纯度钼化合物等"芯片镀膜原料"的目标,助力AI芯片突破技术瓶颈。
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