以二氧化铈为核心的稀土抛光磨料因其硬度适中、反应活性高、选择性高而表现出具有更高的切削速度、抛光精度和表面光洁度，在半导体、光学元件、液晶显示屏等高端制造领域不可替代——晶圆CMP是最典型的应用。近些年来，全球电子产品（如智能手机、平板电脑、新能源汽车等）爆发式增长，半导体市场大规模扩张，这些都带动了稀土抛光材料需求的激增。

之前研究结果显示，包括磨料颗粒的形貌、尺寸，在抛光液中的分散悬浮性能以及二氧化铈Ce³⁺含量，上述因素皆对抛光去除率和表面粗糙度有着重要影响。因此，设计和开发新型高性能稀土抛光磨料，对其粒度、形貌进行严格控制，并对其化学活性实现有效调控、抑制磨料颗粒间的团聚来提高磨料分散悬浮稳定性，是提升抛光效率和降低表面缺陷的重要途径，也是实现稀土抛光材料高端化的重要方向。

在学界和业界有一些前沿和成功的案例，比如可以通过水热合成、分级沉淀等技术实现纳米级单分散，消除大颗粒影响；比如通过表面修饰、介质调控使悬浮稳定性大幅跃升；比如通过气氛煅烧和掺杂提升Ce³⁺占比；还比如通过合成条件定向设计颗粒长径比、球形度等……包头稀土研究院高级工程师、稀土抛光材料研究室李晓佩主任主要从事铈基稀土抛光材料的设计制备、性能优化及其产业化应用研究，定于2025年7月24-25日在东莞喜来登大酒店举办2025年全国精密研磨抛光材料及加工技术发展论坛（第三届）上，她将作题为“铈基稀土抛光材料的可控制备及抛光性能调控”的报告，内容直击当前我国抛光材料存在磨料粒度分布宽、分散性差，抛光液悬浮稳定性差等痛点问题，旨在为业界开发兼具应用宽度和高度的高端抛光材料产品提供思路借鉴和方向参考。

报告人简介

李晓佩，包头稀土研究院高级工程师、稀土抛光材料研究室主任。中国稀土学会稀土高性能制造专委会委员、中国化学会会员、内蒙古稀土学会会员、九三学社包头市委参政议政研究员。主持和参与各类科研项目十余项，其中主持内蒙古自然科学基金1项、包头市项目1项、北方稀土项目2项、包头稀土研究院项目1项，参与国家自然科学基金面上项目1项、内蒙古科技重大专项2项、北方稀土项目2项。

发表期刊论文十余篇，申请国家发明专利十余项。2024年获内蒙古自治区“英才兴蒙”六层次人才称号，2023年获包头市青年创新人才荣誉，获得中国稀土学会优秀报告2次，获得包头稀土研究院女职工双文明建功立业先进个人2次，获得全国高分子学术论文报告会“优秀墙报奖”2次，获得九三学社包头市2024年度参政议政先进个人。

东莞抛光论坛会务组