9月10日，杭州富加镓业科技有限公司（富加镓业）投资的国内首条6英寸氧化镓单晶及外延片生长线，在杭州富阳开工建设，助力我国新型超宽禁带半导体氧化镓产业链高质量快速发展。
此前，国际上仅日本NCT（Novel Crystal Technology, Inc）拥有6英寸氧化镓单晶及外延片生长线，具备量产能力。本次富加镓业生产线项目高度集成单晶生长、衬底加工、外延及检测，项目建成后，具备年产1万片6英寸氧化镓单晶及外延片能力。
作为国内目前唯一一家同时具备6英寸单晶生长及外延的公司，富加镓业整条产线涉及 “一键长晶”单晶生长设备、多线切割设备、高精度研磨抛光设备、倒角设备、激光加工设备、全自动化晶片清洗设备、高通量外延设备、表面缺陷检测仪、电学性能测试仪等关键设备。面向未来，6英寸的氧化镓单晶及外延片将为下游器件厂商提供稳定可控的高质量氧化镓材料。
关于氧化镓半导体
氧化镓是一种能以低成本获得大尺寸、高质量、可掺杂块状单晶的超宽禁带半导体材料（4.8eV），它拥有优异的物理化学特性，在微电子与光电子领域均拥有广阔的应用前景。但因具有高熔点、高温分解以及易开裂等特性，因此，大尺寸氧化镓单晶制备极为困难。2022年8月12日，美国商务部将氧化镓和金刚石等宽禁带半导体材料列入商业管制清单，限制出口。这一措施对我国半导体行业发展产生了制约。无疑，富加镓业本次量产项目有力支撑了我国超宽禁带半导体材料的发展。
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