纳米高纯氧化铝Al₂O₃因其优异的物理和化学特性而成为CMP抛光不可或缺的研磨剂之一。全球抛光液领导者的日本Fujimi推出的晶圆抛光解决方案就包括不同系列的氧化铝，其中纯度超过99%的PWA系列就是一种晶圆抛光工序中用到的最高等级的氧化铝研磨剂。

PWA系列氧化铝研磨剂（来源：Fujimi官网）

众所周知，氧化铝的高硬度可以带来较高的去除效率，高纯度可以减少杂质引入，小粒径可以带来更低的表面粗糙度，惰性则能够适配于抛光液的复杂化学成分……而不同制备工艺对氧化铝的微观形貌有显著影响，这也是影响CMP抛光质量的关键因素之一，比如上图PWA系列电镜图所示，这明显是一种片状氧化铝。这也就意味着纳米氧化铝的制备工艺除了应当满足能够精确控制纯度、粒径，还应该能够通过控制条件以形成片状结构。

中铝是国内也是全球最大的精细氧化铝供应商，也是国家铝基新材料产业“卡脖子”技术、产品的科技研发及产业化的推进主体，旗下的中铝山东正是负责精细氧化铝业务开拓和创新的主力。半导体以及AI是当下经济大环境下为数不多的两大亮点，对CMP抛光的依赖度很高，也排在“国产替代”表单前列。

8月25-26日，粉体圈将在无锡举办“2024年全国精密研磨抛光材料及加工技术发展论坛（第二届）”。届时，中铝山东有限公司高纯氧化铝事业部杨丛林经理分享的报告题为“CMP抛光用高纯氧化铝的制备及应用”，内容围绕CMP抛光用高纯纳米氧化铝展开，重点关注CMP抛光用纳米高纯氧化铝理化特征、微观形貌、生产工艺、技术路线、应用场景等内容，系统阐述改良拜耳法及化学沉淀法对纳米氧化铝微观形貌的影响。此外，报告针对中铝山东有限公司现有纳米铝基粉体材料及后续研发方向进行介绍，希望与产业链内同仁一起解决全产业链的“卡脖子”问题。

报告人简介

杨丛林，男汉，族，中共党员，硕士研究生，中铝山东有限公司高纯氧化铝事业部经理，长期从事高纯铝基粉体新材料产业工艺技术、新产品开发及科技成果转化工作，重点解决铝基粉体材料制备技术和尖端产品的“卡脖子”问题，提升国家关键战略基础原材料的保供能力。近五年主持国家部委项目2项；申报科技成果2项，经中国有色金属工业协会鉴定为国际先进水平；授权国家发明专利5件，申请国家发明专利3件；发表核心期刊论文3篇；制定企业标准3项；在粉体圈、中国粉体网 、催化新材料论坛等平台共进行独立报告7次。

无锡研磨抛光论坛会务组