丹东百特《颗粒检测在精密研磨抛光领域的解决方案以及应用》(报告)

发布时间 | 2024-07-22 10:47 分类 | 行业要闻 点击量 | 555
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导读:8月25日-26日,在江苏无锡举办的“2024年全国精密研磨抛光材料及加工技术发展论坛”上,粉体圈特别邀请了丹东百特仪器有限公司的郭志斌高级工程师分享报告《颗粒检测在精密研磨抛光领域的解决方案...

精密研磨抛光技术是当下把控电子制造业发展的一项关键技术,也是关系到产品质量水准的一大关键因素,研磨抛光本质上是为了获得超光滑、超精密、无损伤、无缺陷的晶圆表面,以方便后续光刻得以顺利进行。为了能够达到高质量的表面质量,工艺、设备、抛光液等生产工艺的每一环都至关重要,精密的检测设备、工艺流程评价体系则又是使整个加工过程得以顺利进行的保障——其中对磨料负责的颗粒检测则是重中之重。


在抛光的过程中,抛光液中的磨料会以微切削、滚压等方式作用于加工产品表面,以去除表面材料。磨料的粒径、形状、分散度、硬度、浓度等因素会在不同程度上影响着产品表面去除效率、效果。

(1)粒径:粒径分布宽对粗糙表面的适应性会更好,大颗粒可以迅速去除材料,小颗粒可以进入细小凹陷处进行精细抛光,但也导致加工表面的均匀性较差,需要后续处理;粒径分布窄虽然加工表面的一致性较好,但整体抛光和磨削的效率低;

(2)形貌:球形或类球形颗粒接触表面的压力分布均匀,有利于减少划痕和表面缺陷,但由于接触面积小而存在效率不足的问题;片状颗粒可以减小磨削过程中产生的划痕,从而提高晶圆表面的质量,但容易破碎和磨损,需要频繁更换或补充;

(3)浓度:高浓度抛光液会有更高的磨抛速率和更低的表面质量,低浓度抛光液反之,而通过实验和数据分析来确定最佳浓度,可以有效提升抛光效果和效率;

还有比如抛光液放置的时间过长,可能会使抛光液中的磨料发生团聚,继而导致抛光过程和质量失控等问题……

对于不同工序的不同要求,颗粒检测就是有效规避风险,控制影响因素,从而提高产品的稳定性、可靠性的重要手段。


8月25日-26日,在江苏无锡举办的“2024年全国精密研磨抛光材料及加工技术发展论坛”上,粉体圈特别邀请了丹东百特仪器有限公司的郭志斌高级工程师分享报告《颗粒检测在精密研磨抛光领域的解决方案以及应用》,报告中将重点讲解颗粒检测技术在精密研磨抛光领域的多种应用、解决方案,同时向您介绍在线激光粒度仪在实时检测和工艺优化中的应用。

报告人简介


郭志斌,百特高级应用工程师,为国内外众多用户提供颗粒表征技术培训及解决方案,在测试条件、样品预处理、数据分析和结果诊断等方面具有丰富的理论基础和实践经验。


无锡研磨抛光论坛

作者:无锡研磨抛光论坛

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