碲锌镉衬底，是采用碲锌镉（CZT）晶体为材料制造而成的衬底。碲锌镉晶体是人工合成的宽禁带II－VI族半导体材料，具有优异的光电性能，可在室温下使用，其应用领域主要集中在红外探测器与高能射线探测器两大方面。碲锌镉衬底早期主要应用在军事领域，用来提升武器装备的红外探测性能，可大幅提高红外成像清晰度，随着国防支出不断增长，军工领域对高性能红外探测器需求不断上升，军工领域碲锌镉衬底市场规模也不断扩大。而随着技术日益成熟，红外探测器应用领域逐步从军用向民用领域拓展，碲锌镉衬底在民用领域可以广泛应用在汽车、安防监控、消防、电力、医疗影像、工业检测、户外消费等方面。其中，随着汽车智能化发展，碲锌镉衬底在自动驾驶、无人驾驶领域需求快速增长。

碲锌镉衬底

随着红外探测器进入了第三代红外探测器技术时期，大规模、高分辨率、多波段、高集成、轻型化和低成本成为红外技术最关注的问题。大规模红外探测器具备更高空间分辨率，能够扩大目标的探测和识别范围，已经成为红外探测器发展的必然趋势。探测器规模的增大导致了探测器材料尺寸增大，以至于如何制造高性能、高均匀性的大尺寸红外探测器材料成为制约红外探测器规模增大的最主要因素之一，大尺寸碲锌镉衬底的制备至为关键。

碲锌镉衬底的表面状态对其作为外延衬底有着重要影响，需要具有平整且光滑的表面，衬底表面的损伤(如裂纹、划伤、缺陷等)将导致液相外延生长薄膜的位错密度高、晶格畸变等。因此，对碲锌镉衬底进行表面精密加工的相关研究十分必要。

通常，表面精密抛光机用于红外焦平面探测器制备过程中碲锌镉材料的表面精密抛光加工工艺，表面抛光参数对晶片的粗糙度影响程度由大到小依次为抛光液粒度、抛光压力、抛光液流量和工作台转速。在选定表面抛光参数时，要结合材料去除率、损伤深度、表面粗糙度等指标的具体要求，参照表面抛光参数对粗糙度的影响规律，在合适的范围内选取恰当的表面抛光参数。深入了解碲锌镉衬底抛光时遇到的问题、抛光机工作原理，对提升抛光技术和衬底质量非常关键。

在即将于2023年9月18-19日在东莞举办的“2023年全国精密研磨抛光材料及加工技术发展论坛”，将由来自北京艾姆希半导体科技有限公司的技术总监James McAneny分享报告“抛光机台在大面积碲锌镉衬底抛光工艺中的应用”。

MCF是一家专注于半导体材料和光电材料精密研磨抛光设备研发和生产的厂家。该公司生产的精密研磨抛光设备、纯化学抛光设备、CMP设备、自动粘片设备等产品，受到了众多用户的认可。其中复购率达到80%的精密研磨抛光设备尤为突出，该设备可适用于多种半导体材料及光电材料的研磨减薄，表面、底面的化学机械抛光（CMP）工艺，深受用户好评。此次报告主要讲述碲锌镉衬底在抛光工艺中的应用，以及工艺中所用材料遇到问题如何处理，并对技术进一步提高。

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报告人简介

James McAneny，英国爱丁堡大学教授，利兹大学客座教授，剑桥人学MBA。从事高精密材料研磨抛光工艺研发工作四十余年，开发了很多世界前沿工艺。无论是在技术方面还是材料方面都有深入的研究，组织技术研讨，开发更多工艺。

东莞抛光材料及技术论坛会务组

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