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京瓷开发的蓝宝石键合技术有哪些应用?
2021年06月07日 发布 分类:粉体应用技术 点击量:97
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京瓷开发了一种可以将蓝宝石连接到蓝宝石,或者蓝宝石连接到氧化铝陶瓷的直接键合技术,这种技术可以更好利用蓝宝石和氧化铝陶瓷的高强、稳定、透明特性,以在如半导体、生物分析、应用物理等高精尖领域得到充分应用。

1、流动池(Flow Cell

流动池是一种利用光学检查气液杂质的半透明通道。由于通常暴露在腐蚀性化学物质中,并且需要利于光的传输,通常需要用蓝宝石材料制备。这种流动池常常用于半导体清洗、血液样本分析、精细结构分析的过程中。

2、管路

在半导体制造和分析中,由蓝宝石制成的椭圆管路可用于通过腐蚀性气体;另外还可以利用其高绝缘、低介电损耗特性,在管路中产生等离子体。

3、窗口

蓝宝石从紫外线到红外线的波长范围内都呈透明,所以非常适合做窗口,并且由于它的强度高于其他透明材料,所以便于灵活制备超薄窗口组件。再加上蓝宝石的等离子抗性和耐腐蚀性,可用在半导体和液晶面板制造的全流程中。

4、电子束波导管

这是一种内部有流通通道的长板,用于电子加速器。通过蓝宝石键合技术形成高度密封的长管,可以在真空中使用,而电极置于外部用于电子束加速。

5、微通道


由内置通道的陶瓷和蓝宝石盖板粘合而成,陶瓷表面可以形成几百纳米的浅沟道,用于液体样品的反应观察和痕量物质分析。由于高度耐腐蚀,基本可以用于所有化学品,设计好所需的通道,就可以观察液体流动的路径。

编译整理YUXI


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