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GB∕T 41153-2021 碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法
2022年02月25日 发布 分类:行业标准 点击量:654
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标准编号:GB/T 41153-2021

标准名称:碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法

起草单位:中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司、山东天岳先进科技股份有限公司

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC2)

发布日期:2021-12-31

实施日期:2022-07-01


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