标准编号：GB/T 47097-2026
标准名称：氮化铝单晶抛光片
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所,有色金属技术经济研究院有限责任公司、奥趋光电技术(杭州)有限公司、北京中材人工品体研究院有限公司、江苏第三代半导体研究院有限公司、北京大学、深圳大学、北京大学东莞光电研究院、中电品华(天津)半导体材料有限公司。
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)
发布日期：2026-01-28
实施日期：2026-08-01
粉体圈首页
