2026年5月5日下午，粉体圈企业家考察团一行来到了位于克利夫兰的迈图科技总部交流学习，受到了迈图科技全球产品总监刘翔博士团队的热情接待。刘博士对迈图科技的发展历史以及重点产品及其应用进行了详细的介绍，最后双方也共同探讨了彼此合作的机会。

参访团认真聆听迈图科技的分享

迈图科技的前身成立于1891年，有着130多年的石英与陶瓷的技术沉淀。迈图科技是满足半导体工业需求的先进陶瓷技术与设计解决方案的全球领导者，其陶瓷业务的主要产品分为四大类：1、陶瓷涂层材料（碳化钽、热解氮化硼与热解石墨）。迈图科技的碳化钽涂层可以为石墨部件提供保护，耐高温、耐化学腐蚀，可以延长晶圆载体、坩埚部件的使用寿命，同时减少杂质迁移，提升晶圆和外延层的质量；热解氮化硼涂层，具备高绝缘性和化学惰性，适合高温真空环境下的半导体加工。热解石墨涂层具有导热率高，可以用于高效散热的工作场景。

迈图科技金光闪闪的碳化钽涂层给大家留下了深刻的印象

2、陶瓷粉体与结构件（氮化硼粉体、二硼化钛粉体与热压氮化硼结构件）。迈图科技高纯氮化硼可以用于制备陶瓷结构件和作为涂层材料。二硼化钛材料具有高导电性，可以用于制备高密度、高硬度的导电陶瓷领域，也可以用于氮化硼蒸发舟的制备的导电剂。热压氮化硼结构件具有优异的机械性能和热稳定性。

3、陶瓷加热器、静电卡盘与热水平仪模块。迈图科技的热解氮化硼加热器可以应用于600℃以上半导体处理工作场景，而普通的石墨只适合400℃以下的工作场景。迈图科技的热解氮化硼加热器在空气环境中使用环境最高900℃，氮气保护下适用温度可以达1800摄氏度。面对碳化硅功率半导体产业的快速发展，迈图科技在该领域的业务也得到了飞速发展。这也是硅基半导体常用的氮化铝加热器无法满足的应用领域。另外，迈图科技也开发有碳化钽陶瓷加热器，以及用于精准控制晶圆温度分布的热水平仪及模块等产品。

4、高导热石墨产品。迈图科技可以根据客户需求提供定制化散热解决方案，其型号为TC1050热解石墨产品轴向导热系数可达1050 W/（m·K）以上，可以应用于芯片级散热等领域。

迈图科技克利夫兰总部留影

此外，刘翔博士针对大家感兴趣的氮化硼导热粉体材料，对迈图科技的产品的类型与应用进行了详细介绍。指出单晶片状粉体虽然有粒径小的优势，但各向异性的劣势，导热取向不易控制。氮化硼中密度团聚体各向异性优于片状，但混炼中易破碎。压制团聚体有颗粒强度高，不易破碎的特点，但需要更高的填充量。而球形团聚体具有各项同性，对于体系粘度影响较大。迈图科技具有丰富的理论研究基础与产业应用实践，可以为客户提供针对性的产品与导热解决方案。

总之，迈图科技凭借全系列的先进陶瓷与石墨产品，从基础原料粉末到核心部件成品，构建了覆盖半导体工艺全流程的材料解决方案体系。2024年，迈图科技收购韩国 Sibelco的球形氧化硅、氧化铝粉体业务，切入半导体封装填料产业，这也是其对半导体产业链布局的有一次重大产品延伸战略，将会有助于增加迈图科技在导热粉体材料领域的市场份额。

粉体圈美国考察团