传统粉体表面改性技术存在一些局限,难以胜任半导体、新能源等创新应用的需求。最常用到的湿法表面涂覆存在涂层不均匀、离子和溶剂残留问题;球磨(机械融合)会损坏粉体结构;热解和流化床存在颗粒生长并且不适用热敏材料。近年来随着相关装备完善和应用市场的刺激,粉体真空镀膜包覆技术受到瞩目——它通过物理或化学方法在微纳米粉体表面构筑精确定制的薄膜,可显著提升粉体材料的导电、导热、耐候及化学稳定性。
粉体真空镀膜包覆的手段多样,简单归类:涂层材料是非化学反应生成的属物理法,比如物理气相沉积(PVD)及其延伸的磁控溅射等,涂层材料是化学反应生成的属化学法,比如化学气相沉积法(CVD)及其延伸的原子层沉积法(ALD)等。应该说,不同工艺有着自身特点,用户根据应用条件选择适合的路线。比如
——高功率半导体对散热要求极高,由于金刚石具备非常高的导热系数,同时热膨胀极低,目前被广泛用于制备金刚石复合散热(热沉)材料,但金刚石与大多数基体材料(如Cu、Al或SiC)的界面相容性较差,只有对金刚石微粉改性,才能将金刚石结合到基体上。

金刚石/Cu复合材料制备渲染示意图(图片来源:中南大学)
——锂电池行业,能量存储和长期循环性能是最重要的指标,而它们都与界面稳定息息相关。正极材料涂层须避免其与电解液(固态电解质)发生电化学反应;负极材料涂层则要防止枝晶生长,缓冲体积膨胀;电解质涂层须降低界面阻抗,保障锂离子传输不受影响。
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半导体、新能源领域资本、技术高度集中,技术更新迭代也很快,粉体真空镀膜包覆是粉体表面改性领先技术的代表,相关研究表明,该技术通过精准调控材料界面特性,为解决高性能电子器件与高效能量存储/转换系统中的关键技术瓶颈提供了有效路径,展现出广阔的产业应用前景。2025年12月23-25日,珠海举办的“2025全国粉体检测与表面修饰技术交流会(第九届)暨CEMIA粉体技术分会2025年年会”,中南大学魏秋平教授将作题为“粉体真空镀膜包覆技术及其在半导体和新能源领域的应用进展”报告,对粉体真空镀膜包覆的核心原理与关键工艺进展进行综述,并重点探讨其在半导体领域(如金刚石复合散热材料、金刚石表面改性)和新能源领域(如锂离子电池正负极材料、固态电解质等)的创新应用。
报告人简介

魏秋平,中英联合培养博士,中南大学材料科学与工程学院教授、博导,粉末冶金国家重点实验室固定人员,气相沉积技术与薄膜材料研究室负责人。先后入选“中国优秀创新创业导师”、“湖南省创新达人”、“南京市创业领军人才”、“长沙市高层次人才”、“长沙市高层次人才创新创业促进会理事”、“长沙市优秀发明人”、“中南大学升华育英人才”。
长期从事功能薄膜、气相沉积技术与半导体材料研究,发表SCI论文100余篇(JCR1区60篇),获授权发明专利52项(含PCT专利8项),作为课题负责人或核心成员主持和参与国家“十三五”、“十四五”重点研发、国家自然科学基金、广东省“十三五”重点研发、湖南省高新技术产业科技创新引领计划等项目40余项,总经费达3350万元,与华为、蓝思科技、株洲欧科亿、深圳众诚达、深圳富吉等企业建立了长期紧密的合作关系。
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