据南方日报消息，2月10日，珠海至微半导体零部件清洗项目动工仪式在珠海高新区智能制造加速基地举行。据了解，该项目聚焦半导体晶圆厂关键制程设备的零部件精密清洗和翻修服务，厂房总面积为4200平方米，配置10级无尘车间，规划建设4条独立制程清洗产线和表面处理产线，预计年清洗产能为36万件，项目建成后可为珠三角半导体晶圆厂提供“2小时配套圈”服务。
活动现场（来源：南方日报）
在半导体的生产过程中，半导体设备部分零部件表面可能会沉积覆着物或被刻蚀副产物污染，而这些覆着物或杂质会影响最终产品的性能和良率，因此为确保生产的功效，需要定期对半导体设备进行洗净，以达到提高设备稼动率，延长制程设备的使用寿命的目的。半导体零部件清洗不仅是新设备零部件组装前必不可少的关键环节，还是使用中的设备日常保养和维护的重要措施和必要环节，其主要包括基础洗净、陶瓷熔射、阳极氧化以及维修翻新业务等。
此次珠海至微半导体零部件清洗项目动工，不仅推动了我国半导体零部件清洗服务的升级与发展，还助力珠海集成电路产业链的进一步完善，为广东打造中国集成电路产业“第三极”提供支撑。
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