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GB/T 41765-2022 碳化硅单晶位错密度的测试方法
2023年08月17日 发布
分类：行业标准 点击量：581
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标准编号：GB/T 41765-2022 标准名称：碳化硅单晶位错密度的测试方法 起草单位：北京天科合达半导体股份有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司。 归口单位：国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2) 发布日期：2022-10-12 实施日期：2023-05-01 
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