GB/T 41765-2022 碳化硅单晶位错密度的测试方法

发布时间 | 2023-08-17 11:41 分类 | 行业标准点击量 | 939

碳化硅

导读：本文件规定了碳化硅单晶位错密度的测试方法，适用于晶面偏离面、偏向<11?2 0>方向0°～8°的碳化硅单晶位错密度的测试。

标准编号：GB/T 41765-2022

标准名称：碳化硅单晶位错密度的测试方法

起草单位：北京天科合达半导体股份有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司。

归口单位：国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)

发布日期：2022-10-12

实施日期：2023-05-01

作者：粉体圈

总阅读量：939

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