GB/T 42263-2022 硅单晶中氮含量的测定二次离子质谱法

发布时间 | 2023-07-07 17:14 分类 | 行业标准点击量 | 642

导读：本文件按照GB/T11-2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

标准编号：GB/T 42263-2022

标准名称：硅单晶中氮含量的测定二次离子质谱法

起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司。

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC 2)

发布日期：2022-12-30

实施日期：2023-04-01

作者：粉体圈

总阅读量：642

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