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GB/T 42263-2022 硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法
2023年07月07日 发布
分类：行业标准 点击量：491
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标准编号：GB/T 42263-2022 标准名称：硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法 起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司。 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC 2) 发布日期：2022-12-30 实施日期：2023-04-01 
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