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日本公司宣布开始试销12英寸蓝宝石基板
2022年12月02日 发布 分类:行业要闻 点击量:108
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2022年11月29日,日本安达满纳米奇精密宝石有限公司(アダマンド並木精密宝石;Adamant Namiki Precision Jewel Co. Ltd.)宣布已开始试销12英寸蓝宝石基板(ø300)。公告称,12英寸蓝宝石基板为全球首次销售。

12英寸蓝宝石基板

12英寸蓝宝石基板

长久以来,蓝宝石一直被用作LED照明光源的主要衬底材料——除了Cree采用碳化硅衬底、晶能采用硅衬底,目前世界上绝大多数的芯片制造商都采用蓝宝石衬底。而近年来由于半导体市场的需求增加,行业对大尺寸衬底(12英寸)的需求也在增长。因此为了满足这种预期外的增长需求,一直致力于生产更高质量的蓝宝石衬底的Adamant Namiki利用现有的蓝宝石衬底制造技术和经验,成功地制造了12英寸的大型蓝宝石衬底。产品主要具有以下特征:

①蓝宝石衬底表面的颗粒数极低,在2至8英寸尺寸的范围内,每2英寸的0.3微米或更大的颗粒少于50,主要金属(K、Ti、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn)则为2E10/cm 2以下。这种12英寸的基材也有望达到这个等级。

②可作为12英寸半导体制造工艺的载体晶圆(设备内运输托盘),并作为粘接的基材。

③可对凹凸面的形状进行控制。

蓝宝石基板

从左到右:2英寸、4英寸、6英寸、8英寸、12英寸蓝宝石基板

安达满纳米奇公司是一家主营硬质材料的加工及相关工业产品制造的先进材料企业。自几年前开始生产更高质量的蓝宝石衬底,除了衬底表面清洁度和形状控制相关的技术改进外,还一直在开发大尺寸衬底,今年4月曾有新闻报道它成功开发了超高纯度2英寸金刚石晶圆的量产方法。

关于安达满纳米奇公司

安达满纳米奇主营硬质材料的加工及产品制造。“安达满”意为“极硬”,此词起源于“adamas”,是希腊字“金刚石”的意思。前身纳米奇制作所于1939年成立于日本东京,最开始为电气测量仪器生产人造蓝宝石宝石轴承。

1953年,纳米奇精密宝石有限公司和安达满有限公司商业合并成为安达满纳米奇精密宝石有限公司。随后多年来一直为半导体、通信、医疗理化、精密仪器生产提供工业用宝石配件、光通信配件、DC核心发动机配件等产品。2014年时同九州大学、大阪大学共同开发世界上第一次的等离子融合化学机械抛光加工技术(CMP),并自2015年起开始开发大直径金刚石。

注:自2023年1月1日起,安达满纳米奇公司的名称将变更为Orbray株式会社。

 

粉体圈Coco编译整理

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