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晶盛机电宣布成功制备8英寸碳化硅晶体
2022年09月02日 发布 分类:技术前沿 点击量:406
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8月29日,据悉晶盛机电在电话会议上宣布,近日已成功生长出行业领先的8英寸碳化硅晶体,并建设了6英寸碳化硅晶体生长、切片、抛光环节的研发实验线,实验线产品已通过下游部分客户验证,公司将持续加强技术创新和工艺积累,实现大尺寸碳化硅晶体生长和加工技术的自主可控,进一步提升公司在第三代半导体材料端的竞争力。


8月12日,首颗8英寸N型SiC晶体成功出炉(来源:晶盛机电)

碳化硅衬底是宽禁带半导体的核心材料,以其制作的器件具有耐高温、耐高压、高频、大功率、抗辐射等特点,具有开关速度快、效率高的优势,可大幅降低产品功耗、提高能量转换效率并减小产品体积。主要应用于以5G通信、航空航天为代表的射频领域和以新能源汽车、“新基建”为代表的电力电子领域,具有明确且可观的市场前景。但是,“高硬度、高脆性、低断裂韧性”的碳化硅,对生产工艺有着极其苛刻的要求,而大尺寸的碳化硅晶体制备一直是行业的“卡脖子”技术。

去年7月,晶盛机电宣布成功生长出6英寸碳化硅晶体,同时8英寸碳化硅晶体生长已在研发中,同时将持续加强碳化硅长晶工艺和技术的研发和优化,并做好研产转化,建立生长、切片、抛光测试线,在量产过程中逐步打磨产品质量,掌握纯熟工艺和技术。此次8英寸碳化硅晶体的成功制备,是晶盛在宽禁带半导体领域取得的又一标志性成果。


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