提到TOTO，很多人首先想到的是卫浴产品。但事实上，这家拥有百年历史的日本企业，近年来正在持续强化先进陶瓷业务，并将其定位为未来的重要增长方向之一。

近日，TOTO 宣布，将进一步强化半导体制造设备用陶瓷业务的研发与生产体系，重点布局“静电卡盘（Electrostatic Chuck，ESC）”以及“气溶胶沉积（Aerosol Deposition，AD）部件”等核心产品。

TOTO的静电卡盘产品（来源：TOTO）

AI与数据中心需求，推动半导体陶瓷市场增长

随着AI芯片、高性能计算以及数据中心市场持续扩张，半导体设备对高性能陶瓷部件的需求也在快速增长。TOTO在其中长期经营计划中，已将以静电卡盘和AD部件为核心的“陶瓷业务”列为成长型业务板块。

其中：

l 静电卡盘是半导体设备中的关键功能部件，广泛应用于刻蚀、薄膜沉积等工艺，用于吸附并固定晶圆；

l AD（气溶胶沉积）技术则是一种低温陶瓷成膜技术，可用于形成高性能绝缘与耐磨涂层。

从业绩表现来看，先进陶瓷业务（主要受惠于半导体用静电卡盘、AD部件的销售增长）已经成为TOTO的重要利润增长点。2026财年，TOTO先进陶瓷业务营收同比增长34%，达到674亿日元；营业利润增至289亿日元，利润率维持在较高水平。

丰前工厂新建烧成栋，提升静电卡盘产能

为满足市场需求，TOTO正在位于日本福冈县丰前市的TOTO Fine Ceramics丰前工厂建设新的“烧成栋”，用于静电卡盘增产，预计将于2027年1月完工。目前，TOTO半导体陶瓷业务主要布局在三个基地：茅崎工厂（负责研发）、中津工厂（负责生产制造）、丰前工厂（负责先进陶瓷产品扩产）。

丰前工厂在建的“烧成栋”（来源：TOTO）

TOTO表示，未来将持续扩大半导体陶瓷业务产能，计划于2028财年前累计投入约300亿日元（约合人民币14亿元）用于设备投资，后续还将继续推进更大规模的产能扩张。

粉体圈Coco编译