不知道各位朋友对去年六月的一个新闻有没有印象，当时日本半导体企业Novel Crystal Technology（NCT）在全球范围内首次成功量产了100mm（4英寸）的β型氧化镓100mm外延片，这使得在100mm生产线上制造氧化镓功率器件成为可能。

关于氮化镓

氧化镓是一种宽禁带半导体，其导电性能和发光特性良好，禁带宽度Eg＝4.9eV，大于硅，氮化镓和碳化硅，因此在光电子器件方面有广阔的应用前景，尤其是高功率应用领域。目前氮化镓被用作于Ga基半导体材料的绝缘层，以及紫外线滤光片等，这些是氧化镓的传统应用领域，最有希望的应用可能是电力调节和配电系统中的高压整流器，如电动汽车和光伏太阳能系统。

而在今年三月，NCT又出新招。它们在新能源产业技术综合开发机构的“战略性节能技术创新计划”中，与佐贺大学合作开发了第三代氧化镓100mm外延片，重点改良了外延晶圆制造技术，将阻碍氧化镓功率器件大电流化的耐压特性劣化的缺陷降低到了以前的十分之一。

用100mm外延片试制的肖特基二极管，最大芯片尺寸为10mm×10mm

本次研发成果使得氧化镓功率半导体器件在电车、工业设备、电动汽车等需要100A级功率半导体器件的市场上的广泛部署成为可能，在节约能源的同时，在实现碳中和能源方面也能取得了重大进展——据统计，到2030年若按原油计算，其节能效果将达到每年10万千升以上。

总而言之，氮化镓的实用商业化之路又朝往前进了一大步，非常值得期待！

来源：NEDO

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