随着电子信息、生物医疗等领域的迅猛发展，器件结构或尺度迈向微小化和微型化，微纳制造技术的重要性日益凸显。作为半导体、光电子等高科技产业的核心驱动力，微纳制造直接关系到半导体等产业链的自主可控，是提升中国整体制造业创新力与国际竞争力、保障国家科技安全的关键途径。

然而，相比于国际前沿水平，中国在微纳制造技术上存在阶段性差距，目前部分关键材料及高端设备面临严峻的“卡脖子”困境。比如，由于美国商务部工业和安全局(BIS)2022年8月 12 日发布对氧化镓及金刚石实施出口管制等，严重限制了我国半导体产业的发展。在这一背景下，哈尔滨工业大学（深圳）与资深工程师团队共同创立的鹏城半导体技术（深圳）有限公司充分利用人才团队积淀了30多年的深厚技术底蕴，针对薄膜沉积行业的痛点及难点，打造了一条覆盖材料、器件、工艺到设备装备制造的一条龙服务，推出了高真空磁控溅射镀膜机、HFCVD金刚石制备设备、分子束外延薄膜生长设备、PECVD等离子体增强化学气相沉积设备等.一系列产品，在微纳光学、声学、医疗、环保领域都得到了广泛应用。

精英人才方阵：产学研用协同创新

鹏城半导体立足于技术前沿与市场前沿的交叉点，聚焦微纳技术与高端精密制造，旨在解决产业的痛点和国产化难题，争取产业链的自主可控。针对行业普遍存在的"技术人员整合厚度不足、忽视工艺开发"的症结，公司在创立之初就系统性构建了知识结构完整的精英人才团队，突显"产学研用"深度协同的优势：

高水平的科研团队：以哈尔滨工业大学（深圳）教授和博士为核心，专注半导体材料研究、外延技术及薄膜工艺开发，聚焦基础理论创新；

经验丰富的工业团队：拥有来自工业界的高级装备设计师，具备超过20年的半导体材料研究、外延技术开发及半导体薄膜制备成套装备的设计与制造经验，确保技术成果高效产业化

除此之外，公司依托哈尔滨工业大学（深圳）先进的半导体研发与检测平台，在高真空磁控溅射、分子束外延（MBE）等核心装备研发中占据高起点，为突破镀膜监控系统、工艺算法优化等"卡脖子"环节提供了坚实基础。

核心产品体系：多元化薄膜沉积解决方案

基于人才与平台优势，鹏城半导体成功开发出多款面向不同工艺、不同应用的薄膜沉积装备，为中国微纳制造自主化提供关键支撑：

1、生产型 TGV/TSV /TMV 高真空磁控溅射镀膜机

该设备用于玻璃基板和陶瓷基板的高密度通孔和盲孔的镀膜，深径比>10:1。例如：用于基板镀膜工序Cu/Ti微结构，Au/TiW传输导线双体系膜层淀积能力，为微系统集成密度提升提供支撑。

优点：膜层均匀性及重复性高，膜层附着力强，设备依据工艺配方进行可编程自动化控制。

2、HFCVD金刚石制备设备

HFCVD金刚石制备设备及生产线

该设备主要用于微米晶和纳米晶金刚石薄膜的研发和生产。可用于力学级别、热学级别、光学级别、声学级别的金刚石产品的研发生产。

应用领域：

制造大尺寸金刚石多晶晶圆片，用于大功率器件、高频器件及大功率激光器的散热热沉。

生产制造防腐耐磨硬质涂层；环保领域污水处理用的金刚石产品。

平面工件的金刚石薄膜制备，也可用于刀具表面或其它不规则表面的金刚石硬质涂层制备。

用于太阳能薄膜电池的研发与生产。

3、科研型高真空磁控溅射仪

该系列设备主要用圆形磁控溅射靶进行溅射的方法，制备金属、合金、化合物、半导体、陶瓷、介质复合膜及其它化学反应膜等；适用于镀制各种单层膜、多层膜、掺杂膜及合金膜；可镀制磁性材料和非磁性材料。可用于TGV/TSV/TMV 先进封装的研发，高深径比（≥10:1）的深孔种子层镀膜。

4、分子束外延薄膜生长设备（MBE）

该设备可以在某些衬底上实现外延生长工艺，实现分子自组装、超晶格、量子阱、一维纳米线等，可以进行第二代半导体和第三代半导体的工艺验证和外延片的生长制造。

优势：该设备在薄膜外延生长时具有超高的真空环境，是在理想的环境下进行薄膜外延生长，它可以排除在薄膜生长时的各种干扰因素，得到理想的高精度薄膜。

5、PECVD等离子体增强化学气相沉积

该设备主要采用单频或双频等离子增强型化学气相沉积技术，在洁净真空环境下进行氮化硅和氧化硅的薄膜生长，是沉积高质量的氮化硅、氧化硅等薄膜的理想工艺设备。

6、生产型 高真空磁控溅射/离子辅助/多弧复合镀膜机

PVD-1000S系列设备集成了工件表面处理、离子清洗、颗粒物控制、磁控溅射、离子辅助镀膜及反应溅射镀膜等工艺方法于一体，其真空达7X10^-5Pa。可以制备单层膜、多层膜、掺杂膜、金属膜及合金膜、化合物薄膜等，广泛应用于铣刀、钻头、轴承、齿轮、镜片等表面的硬质耐磨涂层制备。

7、生产型 高真空磁控溅射及离子辅助复合镀膜机

PVD-1000B系列设备同样集成了工件表面处理、离子清洗、颗粒物控制、磁控溅射、离子辅助镀膜及反应溅射镀膜等工艺方法于一体，可在工件表面制备各种薄膜材料，其真空达8X10^-5Pa。

小结

在微纳制造技术驱动高科技产业发展的关键时期，鹏城半导体技术（深圳）有限公司重视工艺研究，致力于解决国内产业链的痛点和国产化难题，希望通过产学研用的深度协同，在微纳技术与高端精密制造领域实现创新引领与可持续发展，推动半导体材料、工艺及设备的技术突破，减少对进口核心装备及工艺的依赖，最终提升中国制造业的创新力与国际竞争力，为国家科技安全提供坚实保障。

值得期待的是，即将于9月25-26日在苏州举办的“2025全国纳米金属粉体/浆料制备与应用创新发展论坛”上以展商身份重磅亮相（展位号：21），届时欢迎您到现场与他们合作洽谈！

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