标准编号：GB/T 42676-2023
标准名称：半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所,有色金属技术经济研究院有限责任公司、北京通美品体技术股份有限公司、山东有研半导体材料有限公司、弘元新材料(包头)有限公司、哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司、浙江海纳半导体股份有限公司、国标(北京)检验认证有限公司、丹东新东方品体仪器有限公司、有研国晶辉新材料有限公司、江苏卓远半导体有限公司、新美光(苏州)半导体科技有限公司。
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)和全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)
发布日期：2023-08-06
实施日期：2024-03-01
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