溯源

硅酸酯通式为Si(OR)₄，其中R主要指代烷基（有时也指代芳基），它是日本FUJIMI制备超纯硅溶胶的主要原料，即当前半导体行业CMP抛光液的范式基础。据厂商和相关实验研究数据显示，FUJIMI的超纯硅溶胶产品纯度可达99.9999%（6N级）甚至更高，这使其关键金属离子（如Na⁺、K⁺、Ca²⁺、Fe³⁺）含量低于10ppb，满足先进制程的要求。

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突破

日本FUJIMI之所以是业界公认半导体CMP抛光液的全球领导者，主要其超纯胶体二氧化硅（硅溶胶）制备技术和量产能力的领先。半导体行业追求清洁度是为了减少CMP后晶圆上的纳米缺陷数量，即便FUJIMI在1985年引入基于醇盐的超纯二氧化硅后，仍持续不断进行减少抛光浆料污染的研究——提升硅溶胶纯度最直接方式无疑是提升硅酸酯的纯度。粉体圈近日获悉，中化学华陆新材料有限公司（华陆新材）自研的硅酸酯制备技术在生产上取得了突破性进展，能够稳定生产出纯度达到4N级的产品，且已掌握将其提纯至8N的工艺，正在准备中试提纯产线。这意味着国产半导体CMP抛光液已满足达成世界最高水平的关键前提。

目前，经过先进的合成技术和严格的质量控制，华陆新材已成功实现高达6N级的纯度的硅溶胶，10-200nm之间高圆整度二氧化硅颗粒的制备。这意味着公司已经可以提供粒径分布极为均匀、颗粒形状接近完美的二氧化硅颗粒，用于满足精密研磨的严格要求。

产品及应用

华陆新材已实现20nm-500nm范围内硅溶胶的可控制备

华陆新材高纯硅溶胶除半导体制造，也广泛应用于光学器件的抛光，航空航天材料的加工等领域。

半导体制造领域：在芯片制造过程中，硅片的平整度和光洁度对最终产品的性能至关重要。高纯硅溶胶能够提供优异的抛光效果，提高芯片的良品率和性能稳定性。

光学器件加工：光学镜头和显示器件的表面质量直接影响其光学性能。采用高纯硅溶胶进行抛光，可以最大限度地减少表面缺陷，提高产品的光学性能和使用寿命。

航空航天材料加工：高纯硅溶胶在航空航天领域同样表现出色。其可用于高精度零部件的表面处理，确保在极端环境下依然保持高性能和长使用寿命。

结语

自2020年成立以来，秉承着科技创新、绿色环保的发展理念，华陆新材迅速成长为硅基新材料领域的新星企业，专注于研发和生产以有机硅为基础的各种新材料，产品线涵盖从气凝胶到硅溶胶，这些材料在电子、光学、涂料、建筑、化工等多个行业有着广泛的应用前景。

为了更好地契合下游客户的需求，华陆新材正积极寻找有实力的合作伙伴，共同探索高纯硅溶胶的更多应用潜力。华陆新材认为通过合作开发，公司能够推出更多高端化的研磨液产品，进一步提升市场竞争力。

关于华陆新材

2021年，中国化学提出打造“两商”的战略：工业工程领域综合解决方案服务商、高端化学品和先进材料供应商。化学工业部第六设计院作为华陆工程科技有限责任公司前身，成功引入战略投资方万华化学集团股份有限公司，形成中国化学、万华化学和员工持股平台的三元股权结构，顺利完成混合所有制改革，企业发展呈现崭新面貌、迸发全新活力。

中化学华陆新材料有限公司是中国化学华陆工程科技有限责任公司贯彻国家发展战略，聚焦基础战略性前沿新材料领域，践行中国化学“两商”布局，投资成立的新材料研发生产销售企业，公司从自身实际情况出发，关注企业痛点难点问题，努力为客户提供一体化的材料解决方案。

粉体圈郜白