据同济快讯，近日市场监管总局新批准二维铬纳米栅格标准物质、二维硅纳米栅格标准物质、一维硅纳米光栅标准物质3项国家一级标准物质。其中，二维铬纳米栅格标准物质是我国首次建立的纳米级角度国家一级标准物质。上述材料由同济大学物理科学与工程学院李同保院士、程鑫彬教授团队研制，能够同时满足纳米制造产业角度和长度校准需求，为新一代信息技术、新材料、生物制造、高端装备等领域的纳米制造提供精准“标尺”。

编者注：

顾名思义，二维铬纳米栅格（2D Chromium Nanogrids）和二维硅纳米栅格（2D Silicon Nanogrids） 是纳米二维结构的铬材料和硅材料；一维硅纳米光栅（1D Silicon Nanogratings）是纳米一维结构的硅材料。上述新材料在材料科学、光子学、传感器和能源存储等领域的应用前景广阔，目前研究仍处于制备技术和应用探索阶段。

分步沉积原子光刻技术方案

标准物质研制单位同济大学相关专家介绍，二维铬纳米栅格标准物质突破性地采用分步沉积原子光刻技术，制备难度较大，可直接溯源到自然界量子化物理常数（铬原子跃迁频率），角度绝对准确性在0.001°量级，可应用于晶圆级原子力显微镜、扫描电子显微镜等集成电路微纳检测设备校准，也可应用于对超精密位移传感器多种参数的光栅干涉法校准。纳米级角度标准物质的研制成功，实现了纳米测量领域的扁平化计量，避免传统逐级量值传递方式造成的误差累积放大，能够通过在线校准直接将高精度计量数据直接传递到企业计量现场，为我国纳米制造产业高质量发展提供有力支撑。

 研制高精度的纳米级标准物质，是打造高准确度纳米测量传递链，提升国产纳米制造产品质量可靠性的关键。本次获批的3项一级标准物质，是国家市场监督管理总局批准的研究成果，正在用于市场监管总局组织的首批国产扫描电子显微镜计量测试评价工作。该成果在国内实现了纳米测量领域的扁平化计量，避免传统逐级量值传递方式造成的误差累积放大，能够通过在线校准将高精度计量数据直接传递到企业计量现场，为我国纳米制造产业高质量发展提供有力支撑。

粉体圈 整理