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T/CASAS 025-2023 8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸
2023年07月18日 发布
分类：行业标准 点击量：576
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标准编号：T/CASAS 025-2023 标准名称：8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸 起草单位：山东大学、广州南砂晶圆半导体技术有限公司、瀚天天成电子科技(厦门)有限公司、广东天域半导体股份有限公司，绍兴中芯售成电路制造股份有限公司、泰科天润半导体科技(北京)有限公司、北京第三代半导体产业技术创新战略联盟。 归口单位：北京第三代半导体产业技术创新战略联盟标准化委员会(CASAS 发布日期：2023-06-19 实施日期：2023-06-19 
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