GB/T 42274-2022 氮化铝材料中痕量元素（镁、镓）含量及分布的测定二次离子质谱法

发布时间 | 2023-03-31 11:00 分类 | 行业标准点击量 | 655

氮化铝

导读：本文件描述了氮化铝单晶中痕量镁和镓含量及分布的二次离子质谱测试方法。适用于氮化铝单晶中痕量镁和镓含量及分布的定量测定，测定范围为镁、镓的含量均不小于1×1016 cm-3，元素含量（原子个数...

标准编号：GB/T 42274-2022

标准名称：氮化铝材料中痕量元素（镁、镓）含量及分布的测定二次离子质谱法

起草单位：北京科技大学、中国科学院半导体研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司、中国科学院青海盐湖研究所、青海圣诺光电科技有限公司

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC2)

发布日期：2022-12-30

实施日期：2023-04-01

作者：粉体圈

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