日前，韩国半导体设备厂商ESTech宣布，与韩国唯一的碳化硅晶圆生产商Senic合作，成功开发出8英寸SiC晶锭生长炉，这意味着韩国实现碳化硅晶圆本土化又进了一步。

Senic的前身是SKC集团的碳化硅子公司，2021年被私募基金收购成立，致力于开发电动汽车用SiC晶圆。SiC晶圆的生产技术门槛高，目前主要由Gree、罗姆（Rohm）、II-VI等垄断，韩国SiC晶圆也是以海外进口为主，Senic的成立对于韩国SiC晶圆产业的本土化有着重要意义。Senic认为，虽然起步较晚，Senic与其他先进国家业者竞争仍有机会。

而Senic计划将通过IPO筹集的大部分资金用于加强6英寸碳化硅晶圆技术的竞争力和扩建设施，目标是在2023年底前完成包括现代汽车公司在内的主要客户的产品认证。Senic表示，为了满足客户的需求并应对不断成长的SiC晶圆市场，Senic在投入6寸晶圆量产的同时，也将推动8寸晶圆的研发。

此次合作开发成功，Senic决定采用ESTech设备量产单晶SiC晶圆，目前正在测试原型。ESTech预计今年下半年将向Senic供应用于SiC锭的化学气相传输（PVT）生长炉。

编译 YUXI

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