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杜邦二氧化硅抛光液的争议以美国ITC给英特尔一年宽限落幕
2021年12月27日 发布 分类:行业要闻 点击量:827
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日前,有消息称美国国际贸易委员会 (ITC) 即将宣布禁止杜邦(DuPont)旗下产品Optiplane化学机械研磨浆(CMP slurry)进口美国,遭到了英特尔 (INTC-US) 的极力反对。

化学机械研磨浆是生产芯片所需的关键原料,用来研磨晶圆的表面,这款名为Optiplane的CMP浆料,由杜邦旗下的罗门哈斯(Rohm & Haas)在台湾和日本制造这款研磨浆被CMC材料公司控告侵害专利权,ITC因而裁定禁止进口到美国。

二氧化硅

根据CMC的主张,Optiplane浆料使用该公司旗下Cabot Microelectronics拥有的先进技术,即在浆料中使用二氧化硅粒子来研磨半导体,Cabot这个系列的浆料称为iDiel。

而英特尔虽不是此案的原告或被告,但是高调向ITC表达反对禁止进口立场,理由是:以美国为基地的晶片生产线,如果没有给24个月过渡期,就径自禁止使用Optiplane浆料的话,有违国家安全与经济利益。英特尔表示,这些浆料用于芯片制造过程中的不同步骤,浆料的细微变化将对制造环境带来巨大的影响,进口禁令会让芯片短缺问题更加严重。

ITC禁令对英特尔的伤害恐怕比其他晶圆代工厂更大,因为英特尔大多数产能依赖美国厂房,相较之下,拥有亚洲厂房的同业较不受该政策变化影响。

不过Cabot公司驳斥,芯片短缺仅是英特尔与罗门哈斯用来避免进口禁令的借口,芯片短缺实际上是一系列复杂经济因素的结果,与CMP浆料供给完全无关。

经过一番讨论后,美国国际贸易委员会仍裁定禁止Optiplane化学机械研磨浆进口,但表示正使用该侵权产品于进行中的半导体芯片制程的各个实体,最长可有一年时间的豁免同意给予提出抗议的芯片大厂英特尔(Intel)与其他同样来不及转换别家研磨浆的公司一年宽限期明年一整年还可继续由台湾或日本进口这款浆料。


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