近日,中国电科(山西)碳化硅材料产业基地举行视频投产仪式。该项目从动工到投产,只用了11个月,未来在达成年产18万片碳化硅晶片后,将成为世界前十的碳化硅生产企业。
碳化硅晶片厚度仅0.5毫米(来源:山西电视台)
中国电科(山西)碳化硅产业基地一期项目于2019年4月1日开工建设,同年9月26日封顶,据此前山西综改示范区消息,一期项目能容纳600台碳化硅单晶生产炉和18万片N型晶片的加工检测能力,可形成7.5万片的碳化硅晶片产能,将彻底解决国外对我国碳化硅封锁的局面,实现完全自主可供。
自 2007 年,中国电科 2 所便着手布局碳化硅单晶衬底材料的研制规划,依靠自身在电子专用设备研发领域的技术优势,潜心钻研着碳化硅单晶生长炉的研制。目前全面掌握了高纯碳化硅粉料制备工艺、4 英寸高纯半绝缘碳化硅单晶衬底的制备工艺,形成了从碳化硅粉料制备、晶体生长、晶片加工、外延验证等整套碳化硅材料研制线,在国内最早实现了高纯碳化硅材料、高纯半绝缘晶片量产。
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