7月14日，江苏天晶智能装备有限公司宣布，其自主研发的12英寸蓝宝石衬底与载体晶圆同步实现规模化量产，年产能10万片，良率超97%。该突破标志着我国首次在大尺寸蓝宝石材料领域完成"衬底+装备"全链条国产化，打破国外垄断，技术实力跃升全球第一梯队。

全自主装备链支撑产业升级，核心成果指标国际领先

据悉，此次12英寸蓝宝石衬底的量产依托于天晶智能构建的自主装备链，彻底摆脱对进口设备的依赖：其自主研发的TJ320型超高速多线切割机，配合超高速金刚石线切割技术，可将切割效率提升300%，良率稳定在98%以上，并使外延缺陷降低80%，提升LED发光效率。同时，其他关键参数可达国际领先水平：直径精度300±0.5毫米、表面粗糙度仅为0.2纳米、位错密度≤500 cm⁻²，耐2050℃高温，满足GaN外延与Micro-LED高端器件需求；

赋能战略产业创新，掌握第三代半导体战略主动权

该成果有望推动三大领域升级：用其作为衬底的12英寸GaN功率器件可使新能源汽车电驱系统能效提升15%；在AR/VR领域，高折射率衬底（n=2.7）能将光波导视场角扩大40%，推动AR眼镜光机体积缩小一半；在量子科技领域，超低缺陷衬底为量子芯片与高能激光窗口提供极端环境下的光学稳定性。此外，天晶半导体也已启动12英寸图形化蓝宝石衬底（PSS）研发，瞄准千亿级Micro-LED市场，18英寸兼容切割设备也进入工程验证阶段，有望使我国在第三代半导体竞争中掌握战略主动权。

来源：投影时代