粉体圈最近获悉，瑞芯智造（深圳）科技有限公司推出了一款融合新一代电学库尔特原理与全球首创的光刻固态纳米孔芯片技术的纳米粒度分析仪——它可一次性获取粒径、浓度、Zeta电位等多维参数，能够为抛光剂、磨粒生产应用企业的研发和质控提供高效、简便、精准的全新检测范式。

NanoCoulter™ 单颗粒分析仪

CMP抛光传统检测（组合拳）

动态光散射（DLS）、Zeta电位仪、纳米颗粒跟踪分析（NTA）、扫描电镜（SEM）等等技术及相关仪器，分别以不同原理和计算公式获取包括磨粒粒径分布、抛光液稳定性、颗粒形貌、杂质含量等在内的关键参数。不同原理和技术需要不同仪器，对样品要求各不相同（干、湿、浓度等）存在人工制样偏差，非直接测量的等效理论（DLS假设磨粒为球形颗粒）存在固有偏差，离线检测（SEM）无法捕捉动态变化（颗粒团聚、解聚）……

总结而言，传统检测存在固有缺陷，模型、人工、环境等导致的系统性误差的累积很容易导致数据失真。

NanoCoulter™ 单颗粒分析仪

传统库尔特计数器通过颗粒通过微孔时引起的电阻抗变化来推导出颗粒（横截面）粒径，以精准著称，是众多磨料生产和应用企业的必备装备。但是传统库尔特计数器最大的局限在于，它使用的聚碳酸酯小孔管孔径无法检测1μm以下颗粒。

NanoCoulter™ 单颗粒分析仪的技术突破具体体现在可实现对15nm起始尺寸颗粒的单颗粒级精确定量，分辨率高达1nm，数据精度媲美电镜。

NanoCoulter™ 单颗粒分析仪

NanoCoulter™的问世意味着在液相纳米颗粒表征领域，首次实现“电镜级精度+光学法速度+多参数同步”。在对CMP抛光液的深度分析中，对磨粒精准控制、工艺优化和缺陷预防方面具有突破性价值。

关于瑞芯智造

瑞芯智造（深圳）科技有限公司是一家专注于纳米单颗粒表征技术的国家高新技术企业，致力于为科研与产业用户提供高分辨率、高准确性的纳米颗粒分析解决方案。目前，瑞芯智造已服务数百家国内外科研机构、企业及医疗单位，持续为纳米尺度下的精准研究与产业升级赋能。

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