在精密抛光过程中，抛光液中的大颗粒始终是一个难以忽视的隐患。即使是微米级别的颗粒，也可能成为影响成品表面质量和工艺良率的关键因素。如何精准识别并计数这些大颗粒的多少，已成为半导体行业绕不开的重要课题。

近日，中国粉体工业万里行走访了上海梓梦科技有限公司（下称：梓梦科技）——一家起步于医药领域的高新技术企业，近年来凭借一整套“医药级”检测仪器，成功跨界进入半导体等先进制造行业，尤其在检测CMP抛光液中的大颗粒方面积累了丰富经验。那么，梓梦科技是如何将这些“医药级”技术成功迁移到新材料检测领域的？让我们来一探究竟。

万里行团队与梓梦科技团队合影

从医药制剂到CMP抛光液：精准检测的技术迁移

成立于上海的梓梦科技，拥有大颗粒计数分析仪、粒形分析仪、激光粒度分析仪、纳米粒度及zeta电位分析仪等一系列先进检测产品，最初主要服务于制药企业对注射液、外用制剂等的精细检测需求。

梓梦科技张经理介绍道，在医药领域，许多药用制剂对大颗粒的存在极为敏感，例如注射液对不溶性杂质颗粒的要求非常严格。这一理念与CMP抛光液中尽量减少大颗粒的要求不谋而合——因为大颗粒磨料会对晶圆表面造成划痕，进而降低良率。

注射液与晶圆

“基于此，我们意识到医药领域成熟的检测技术同样适用于抛光液的质量控制。几年前，梓梦便开始尝试将这套技术引入抛光液检测，并取得了显著成效。目前这项技术在国内处于领先地位，属于我们的独家优势。”张经理说道。

两大核心产品，精准“揪出”大颗粒

为了精准检测CMP抛光液中的大颗粒，梓梦科技推出了两款基于不同检测原理的核心产品——“CMP大颗粒计数分析仪 ZM-02”与“CMP粒形分析仪 M3000”。尤其是ZM-02，能够精确计数溶液中的大颗粒数量，为企业提供更具针对性的生产质量控制指导。

1、CMP大颗粒计数分析仪 ZM-02

粒径分布和颗粒浓度

大颗粒计数分析仪是采用光阻法原理设计生产的颗粒计数器，其主要功能是用来测试CMP Slurry药液中颗粒数量等，如二氧化硅、氧化铈、氧化铝等。ZM-02型号产品完全可以按照要求查看任意通道颗粒的数量，如1μm、2μm、5μm等。

l 检测范围：0.5μm–400μm

l 通道数高达1024，可精确监控1μm、2μm、5μm等关键尺寸

l 支持在线或离线检测，并具备全自动进样、自动稀释、自动检测、自动清洗功能

l 数据浓度可达 1×10⁹个/ml

这意味着，用户不仅无须无需人工稀释，还能快速识别出极小比例但高风险的大颗粒，从而提升工艺稳定性。

2、CMP粒形分析仪/M3000

粒形分析仪是采用动态图像法原理设计生产的颗粒计数器，其主要的功能是用来测试CMP Slumy药液中颗粒数量、颗粒形状、不同形状颗粒的数量浓度等。针对不同形状的颗粒对抛光效果的影响，M3000尤其适用于CMP抛光液生产企业对“球形度”、“钝度”等参数的管控。

l 检测范围：0.5μm–1000μm

l 可识别多种形状颗粒，并分别给出浓度数据

l 离线或在线均可，全自动稀释

测试报告：

图1、球形度数据

图2、顿度数据

目前，梓梦科技已与多家相关企业建立合作关系，并计划根据下游客户的实际需求，持续优化检测仪器功能。以抛光行业为例，过去抛光液的浓度相对较高，而如今浓度逐渐降低，这对颗粒计数器的灵敏度和检测能力提出了更高要求。为此，梓梦科技致力于研发具备双重功能的仪器，既能精准检测低浓度样品，也能有效应对高浓度样品的测量需求，从而满足不同工况下的检测需求。

结语

作为检测仪器企业跨界进入新材料领域的典范，梓梦科技不仅把设备卖给新客户，更重要的是还把新的检测理念和服务体系带进新行业，为粉体领域中颗粒尾部的“少量杀伤”难题提供了切实有效的解决方案。这样的跨界合作，充分展示了检测技术更广阔的应用可能。

接下来，中国粉体工业万里行将继续出发，更多精彩，敬请期待！

中国粉体工业万里行