山东硅元新型材料股份有限公司（硅元新材），承袭1958年山东省硅酸盐研究设计院的深厚底蕴，历经67年创新求索，现已成为先进陶瓷产业的标杆企业。依托自主研发的高石英质瓷器制备技术与完全自主知识产权的陶瓷脱水元件核心技术，企业在高端日用陶瓷、艺术瓷及工业陶瓷领域持续领跑，特别是在突破高速造纸机用耐磨陶瓷脱水元件"卡脖子"技术方面树立行业典范。

而近年来，在全球半导体产业向三维集成、超精密制造迈进的新形势下，硅元新材不满足于待在“舒适圈”，精准捕捉产业升级关键机遇,依托自主建设的国家工业陶瓷工程技术中心，企业将多年积累的精密陶瓷成型技术、纳米级加工工艺及高温烧结技术延伸至半导体领域，并希望通过“中国粉体工业万里行”窗口向业界释放一个重要讯息——“我们目前的主要任务是推动半导体关键陶瓷部件国产化进程，而且也已经取得了一定突破，实现了部分产品替代进口”，如果对半导体陶瓷相关领域有需求的客户，欢迎来硅元新材考察交流，一定会有结果、有收获。

万里行团队到访硅元新材

光电/半导体行业用高精密氧化铝陶瓷部件（部分）

半导体晶圆的化学机械抛光（CMP）研磨盘需要耐磨、低污染；离子注入和薄膜沉积需要耐高温、化学惰性、低膨胀系数；高温CVD需要高频电场下维持工艺温度梯度……高纯氧化铝陶瓷在半导体制程中能够起到防击穿、耐高温、耐腐蚀、低释气（低挥发）、抗热震、耐磨的重要作用，保障诸多工艺流程的精确性与稳定性。

高纯氧化铝陶瓷研磨盘/载盘（左） 高纯氧化铝陶瓷绝缘环（右）

大尺寸高精密高纯氧化铝陶瓷绝缘框

耐等离子配件（左）陶瓷板槽（右）

大尺寸陶瓷导轨

不过，针对半导体应用的氧化铝陶瓷基本以998（99.8%纯度）为主，且对于成型、烧结、加工等后期制造工艺的要求也很高。硅元新材依靠良好的科研条件和高度专业的研发队伍，并经过67年的技术积累，可根据客户提供的具体应用条件，自主研发原辅料粉体配方，同时选取合适的工艺技术及先进的生产设备，立志为客户提供高精度、高性能、高可靠性的定制化氧化铝陶瓷解决方案，实现同类进口产品的国产化替代，满足国内半导体行业设备对高精密陶瓷部件日益严苛的需求。

其他行业/材料解决方案（示例）

除半导体用氧化铝陶瓷之外，硅元新材也将产品延伸到氧化锆陶瓷、镁锆陶瓷、氮化硅陶瓷等其他材料体系，可为包括机械、电子、医药、化工、耐火、冶炼、汽车等众多应用领域提供高技术陶瓷解决方案。如下是部分产品展示：

氧化铝耐磨件

氧化镁稳定氧化锆陶瓷

氮化硅陶瓷

小结

作为国内高端陶瓷领军企业，山东硅元曾用高石英瓷革新了高端日用瓷市场，用自研高耐磨陶瓷脱水元件引领我国造纸装备国际化发展，如今为始终紧贴着中国产业升级的脉搏，山东硅元又将目光投向更硬核的赛道——半导体装备关键陶瓷部件，开启了半导体陶瓷国产化征程。未来，相信经过硅元人一辈辈的技术积累，硅元新材还必将持续输出更加精彩的企业发展故事，书写一个个全新领域的应用开拓篇章。

中国粉体工业万里行