11月01日,大族半导体宣布在金刚石切片领域取得了重要的技术突破,推出了QCBD(Quantum Cutting of Bulk Diamond,钻石量子切片)激光切片技术及其相关设备,实现了金刚石高质量低损伤高效率激光切片。这一成果标志着激光切片技术在金刚石材料加工中取得重要进展,填补了国内在该领域的技术空白。
技术解析
金刚石激光切片技术以其非接触、高精度和高效率的特点,为硬质材料加工提供了新的解决方案。可以分为以下步骤:
1.激光聚焦:使用高能激光束精确聚焦在金刚石晶锭内部,形成一层改质区域
2.裂纹引导:通过外部应力,引导裂纹沿激光形成的脆弱区域扩展,实现晶片分离。
3.精确分离:激光的高能量密度确保了分离过程的精确和高效,保持晶片完整性。
QCB技术应用全制程工艺
这种技术在实际加工过程中,要求极高的能量控制精度,以确保金刚石晶片的高质量分离:
1.精确调节:在金刚石晶锭加工中,必须精细调整激光能量和光学系统,以确保能量均匀分布和精确作用。
2.控制裂纹:通过精确的能量控制,引导裂纹沿预定方向扩展,保持剥离面的平整。
3.超快激光脉冲:利用超快激光脉冲的高能量密度,在极短时间内引发材料内部剧烈的物理化学变化,实现精确高效的分离。
因此,激光切片技术相较于传统机械加工,在切割金刚石等硬脆材料时,以其非接触性避免了对材料的机械损伤,减少了碎裂风险,同时提供了更高的加工精度。此外,QCBD激光切片工艺通过减少材料浪费,提升了材料利用率和加工效率,这对于成本高昂的金刚石材料来说尤为关键。
商业化及应用
在商业应用领域,金刚石激光切割技术目前还处于发展初期。相较于碳化硅晶锭的加工技术,金刚石的激光切割技术在商业化方面进展较慢。而大族半导体推出的QCBD激光切片技术及其相关设备,实现了金刚石高质量低损伤高效率激光切片。通过对激光能量的精确调控与光束形态的调制,大族半导体克服了金刚石解理面{111}与切片方向{100}之间较大角度带来的加工难题,实现了晶锭的高精度、低损伤剥离。根据大族半导体QCB研究实验室提供的数据,使用该技术,剥离后粗糙度Ra低至3μm以内,激光损伤层可大幅度降低至20μm。这为国内填补了相关技术空白,为金刚石激光切割技术的商业化应用开通了新道路。
实例效果展示
单品金刚石20mmx20mm数光切片
金刚石激光切产表面相糙度
小结
大族半导体的QCBD激光切片技术突破,不仅加速了生产流程,提升了产品质量,还有效降低了制造成本,而且精细入微的工艺确保了产品质量的飞跃式提升,同时,通过优化生产流程,有效降低了制造成本,展现出了极为广阔的市场应用前景。
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