电子显微镜可以测量纳米级别样品，光学显微镜只能测量微米级别样品，为什么它还没有被替代？问题看似简单，实际回答起来却并不容易——虽然电子显微镜的分辨率远高于光学显微镜，但在实际应用中二者的关系是互补，而不是互相排斥。这是由包括成本、占地、便捷、实时性以及成像条件等综合性能对比得出的结论，具体结合科研和工业中的实际案例，尤其发挥高端或具备定制化功能的光学显微镜优势的场景又有哪些呢？

本文通过对EVIDENT（奥林巴斯）显微镜先进产品和材料应用领先光学解决方案的介绍，希望能够对科研和工业光学显微镜用户起到一些实际指导作用。

基于EVIDENT（奥林巴斯）显微镜的颗粒图像处理分析

引子

2008年前后，光伏行业的硅片金刚石线锯切割正处于萌芽期，当时的主流还是碳化硅浆料切割。该技术路线对碳化硅粉体颗粒形貌要求很高，因此“颗粒图像处理仪”在该领域用不可或缺来形容不为过，那也是笔者首次在工业领域接触到奥林巴斯。颗粒图像处理仪是一种实验室常见仪器，硬件结构很简单，主要由光学显微镜、摄像头组成，通过专用软件对采集的样品图像进行数据处理与分析，可以输出包括长径比、圆度、粒径等多种参数在内的分析报告。

实话实说，科学仪器的软件研发成本非常高，售价通常也比硬件成本高很多，仪器开发商往往不吝于选择高端可靠的品牌部件来保障产品性能和质量，显微镜颗粒图像处理分析系统正是如此——作为光学仪器领域的领先品牌，奥林巴斯以优异的成像质量和高分辨率闻名，在成像、色彩还原、图像处理速度等方面均表现出色，能够捕捉到颗粒的细微结构，再辅以品牌积淀和市场优势，奥林巴斯通常与多种光学系统兼容，且配套的软件和驱动程序功能齐全，便于集成到现有系统中，并且享有专业的售后支持。

“温故而知新”，通过以上对颗粒图像处理仪的回顾，不难看出光学显微解决方案需要软硬件相结合，是“1+1＞2”的典范。十多年过去，奥林巴斯不断引领技术进步，与时俱进地推出了一系列尖端前沿的工业显微镜+软件新版本，展现了其在光学技术领域的非凡实力和行业领先地位。接下来就对此稍作了解。

一、数码显微镜DSX1000（3D+PERCiV for DSX1000）

引言提到的“颗粒图像处理仪”就属于显微镜的细分品类。这类产品结合传统光学显微镜和成像分析技术，通过摄像头直接将图像传输到计算机或显示屏上，具备自动聚焦、图像处理、测量等功能，易于操作并且可以存储和分析数据。结合今年新推出的“PERCiV for DSX1000”新版本软件，具有高度的灵活性，可适用到各种检测任务中，广泛应用于符合常规和前沿国际标准的材料解决方案，并且轻松突破传统二维层面的微观观测，实现了三维结构的精细扫描和测量，例如刻蚀形貌、涂覆结构，晶圆布线、晶圆检测、PCB分析、电路板横截面电容器横截面等检测。

DSX1000可在明场、暗场、MIX、偏光、倾斜和微分干涉对比功能之间一键式多种观察方法切换

解决方案：

DSX1000可以通过点击优化图像可同时查看六种观察方式下的样品成像，极大程度上提升了观察效率。搭配远心光学系统，使检测结果的准确性有了保证。通过物镜的切换这台显微镜可以实现体视、金相、3D数码超景深三种显微镜的观察和成像。采用远心光学系统，保证了在整个放大范围内的测量准确度。具有3D观察、测量、报告自动生成等一系列功能，简化了工作流程，提高了检测效率。

二、3D测量激光显微镜OLS5100

激光显微镜使用405纳米激光作为光源，通过共焦扫描技术能够获取样品的高分辨率图像，可对样品进行三维成像，具有极高分辨率。对于材料而言，尤其适合分析复合材料、涂层的厚度、表面形貌等。

解决方案：
OLS5100可观察纳米范围的台阶，并可测量亚微米级别的高度差，ISO25178-符合标准的表面粗糙度测量可测量从线到面的表面粗糙度；非接触、无损且快速，无需制备样品，只需要将样品放在载物台上即可测量

主要特点：

实现高效实验的实用功能：具有出色精度和光学性能的LEXT^TMOLS5100激光扫描显微镜配备了让系统更加易于使用的智能工具，既简化了工作流程又能获得可信赖的高质量数据。

简化测量检测流程：该显微镜的智能实验管理助手（SmartExperiment Manager）可帮助用户管理实验的计划、采集和分析。显微镜可根据软件生成的定制实验计划扫描样品，避免丢失数据或重复工作。此外，该软件的趋势可视化工具还可让用户在分析过程中更容易发现问题，优化测量检测结果。
值得信赖的数据：专为LEXT显微镜设计的物镜能够提供高度精确的数据，确保显微镜的测量精度。

三、工业正置显微镜BX53M

所谓正置，就是显微镜的光学系统正置，即物镜位于显微镜的上方，样品放置在显微镜下方（相应的，倒置就是指物镜在下方）。它适合观察从上方向下传递的光，广泛用于观察电子元件、机械零件、表面缺陷、焊点质量控制等。

BX53M放大倍率12.5x-1500x，满足灵活需求

解决方案：
BX53M搭配PRECiV软件提供了完善的材料解决方案，可用于复杂的图像分析。点击按钮即可快速、准确地执行复杂的图像分析任务，并且符合最常用的工业标准。由于明显减少了重复任务的处理时间，因此材料学家们可以专注于分析和研究。还能够在任何时候方便地添加用于夹杂物和标准评级图对比的模块化插件。

主要特点：

BX53M系列采用了模块化设计，为广泛的材料学和工业应用提供了多样化的解决方案。BX53M增强了与奥林巴斯PRECiV软件的集成性，从而为常规显微镜检查和数码成像用户提供了从观察到报告创建的无缝工作流程。借助精心设计且易于使用的控件，BX53M简化了复杂的显微镜检查任务。用户无需进行深入培训即可充分使用显微镜功能。

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