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东洋炭素宣布斥资70亿日元追加扩产半导体级TaC涂层石墨
2024年02月20日 发布
分类：行业要闻 点击量：339
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2月16日，东洋炭素（toyo tanso）宣布将决定投资约70亿日元提升用于SiC功率半导体的SiC（碳化硅）和TaC（碳化钽）涂层高性能石墨产能，在去年4月宣布扩产相关产品产能的基础上追加扩产。
东洋炭素认为，中长期内SiC功率半导体的需求将保持旺盛，因此用于外延工艺（SiC晶圆制造工艺）的SiC和TaC涂层石墨产品的需求将持续增加。虽然去年4月已决定增加TaC涂层石墨产品的产能——根据该计划，将在2025年投产并且产能翻倍（与2023财年相比）；但为了应对不断增长的需求，本次追加产能后，东洋炭素的SiC 涂层产品加工能力将增加约两倍（与2023财年相比），TaC涂层加工能力将增加六倍（与2023财年相比）。 编译整理 YUXI 
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