GB/T 42902-2023 碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法
2024年01月10日 发布
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标准编号:GB/T 42902-2023 标准名称:碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法 起草单位:安徽长飞先进半导体有限公司、广东天域半导体股份有限公司、安徽芯乐半导体有限公司、南京国盛电子有限公司、浙江芯科半导体有限公司、河北普兴电子科技股份有限公司、中国科学院半导体研究所。 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2) 发布日期:2023-08-06 实施日期:2024-03-01 相关标签:
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