标准编号：GB/T 42902-2023
标准名称：碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法
起草单位：安徽长飞先进半导体有限公司、广东天域半导体股份有限公司、安徽芯乐半导体有限公司、南京国盛电子有限公司、浙江芯科半导体有限公司、河北普兴电子科技股份有限公司、中国科学院半导体研究所。
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)
发布日期：2023-08-06
实施日期：2024-03-01
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