T/CASAS 026-2023 碳化硅少数载流子寿命测定微波光电导衰减法

发布时间 | 2024-01-04 17:33 分类 | 行业标准点击量 | 734

碳化硅

导读：本文件描述了用微波光电导法测定碳化硅少数载流子寿命的方法。本文件适用于少数载流子寿命为20 ns～200 μs 的碳化硅晶片的寿命测定及质量评价。

标准编号：T/CASAS 026-2023

标准名称：碳化硅少数载流子寿命测定微波光电导衰减法

起草单位：山东大学、广州南砂晶圆半导体技术有限公司、瀚天天成电子科技(厦门)有限公司、广东天域半导体股份有限公司、泰科天润半导体科技(北京)有限公司、杭州海乾半导体有限公司、安徽长飞先进半导体有限公司、中国科学院半导体研究所、中电化合物半导体有限公司、北京第三代半导体产业技术创新战略联盟。

发布单位：北京第三代半导体产业技术创新战略联盟标准化委员会(CASAS)

发布日期：2023-06-19

实施日期：2022-06-19

作者：粉体圈

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