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四方达70万克拉/年功能性金刚石产业化项目开工
2023年09月14日 发布 分类:企业动态 点击量:274
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9月8日,郑州经开区举行了河南四方达超硬材料股份有限公司旗下郑州天璇新材料有限公司的“年产70万克拉功能性金刚石产业化项目”开工仪式。

(图片来源:大河财立方)

MPCVDMicrowave Plasma Chemical Vapor Deposition)法制备的金刚石是目前电子级金刚石生产的最佳技术路线,是金刚石半导体材料的最佳工艺方法,大致过程是:将气体混合物引入反应室,然后通过微波能量产生等离子体。等离子体中的碳源气体(通常是甲烷)分解为碳原子,然后沉积在基底上,逐渐生长出金刚石薄膜。

据方海江介绍,我国在MPCVD技术的研发起步晚,针对这种情况,四方达将CVD金刚石列入核心战略,加大研发投入,累计已投入2亿元,完成MPCVD设备、CVD金刚石合成工艺开发与验证,成功研发两英寸的光学级金刚石(窗口材料),采用自主技术建设的功能性金刚石产线已建成投产。

目前郑州经开区已集聚四方达、钻石精密、联合精密等超硬材料领域头部企业7家,有基础更有优势,为超硬材料产业建设蓄积了后劲。本次项目总投资7亿元,主要产品为超精密刀具单晶金刚石、光学级金刚石、芯片热沉半导体及功率器件用金刚石等,本次开工项目第一阶段以培育钻石为主。项目预计2024年投产,投产后有望成为国内最大的CVD金刚石生产基地


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