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T/CASAS 032-2023 碳化硅晶片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法
2023年07月21日 发布
分类：行业标准 点击量：501
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标准编号：T/CASAS 032-2023 标准名称：碳化硅晶片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法 起草单位：山东大学、广州南砂丽圆半导体技术有限公司、瀚天天成电子科技(厦门)有限公司、广东天域半导体股份有限公司、泰科天润半导体科技(北京)有限公司、杭州海乾半导体有限公司、安徽长飞先进半导体有限公司、中国科学院半导体研究所、中电化合物半导体有限公司、北京第三代半导体产业技术创新战略联盟。 归口单位：北京第三代半导体产业技术创新战略联盟标准化委员会（CASAS） 发布日期：2023-06-19 实施日期：2023-06-19 
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